半導体デバイスの開発や故障解析において、極端な温度下での材料およびデバイスの性能を理解することは極めて重要です。しかし、従来のテスト手法は、温度制限のためにしばしば不十分であり、増大する研究および産業の需要を満たすことができません。

CPS-HTシリーズ高温プローブシステムは、優れた性能と柔軟な構成を提供し、さまざまなテスト要件に最適なソリューションを提供します。2x2インチ（50x50 mm）以下の小サンプルを扱う研究室では、手動ウェーハプローブステーションが、直感的な操作と迅速なサンプル展開により、コスト効率の高いオプションを提供します。100 mm以上のウェーハを扱う自動生産ラインまたは大規模なR&Dプロジェクトでは、高度なモーションコントロールシステムにより、高い再現性と効率を備えた半自動または全自動操作が可能になります。

このシステムの画期的な温度能力は、市場で際立っています。真空環境では、最大700℃までのテストをサポートし、制御された大気条件下では安定した650℃の動作を維持します。これにより、研究者は以下を行うことができます。

• 融点または相転移付近の材料の電気的特性を調査する
• 高温デバイスの信頼性を正確に評価する
• 故障メカニズムと熱ドリフト効果を分析する
• 経年劣化テストと熱応力評価を実施する

このシステムには、ユーザー中心の設計機能がいくつか組み込まれています。

• 外部手動マイクロアジャスターを備えたプローブアームにより、正確な位置決めが可能
• デュアル熱ステージオプション：標準テスト用の空冷と、迅速な温度サイクル用の液体窒素冷却
• 標準7:1ズーム顕微鏡、解像度<4μm、オプションで高倍率レンズも利用可能エンジニアリング上の考慮事項と信頼性

真空ポンプからの干渉を最小限に抑えるための高度な振動絶縁

• サンプルと機器を保護するための最適化された加熱/冷却サイクル
• 極端な条件下での長期的な信頼性のための堅牢な構造
• 研究への影響と将来の可能性