반도체 장치 개발 및 고장 분석을 추구 할 때 극단적 인 온도에서 재료 및 장치 성능을 이해하는 것이 중요합니다.종종 온도 제한으로 인해 부족합니다., 증가하는 연구 및 산업 요구에 부응하지 못합니다.

CPS-HT 시리즈 고온 탐사 시스템은 예외적인 성능과 유연한 구성을 제공하며 다양한 테스트 요구 사항에 이상적인 솔루션을 제공합니다.2×2인치 (50×50mm) 이하의 작은 샘플을 사용하는 연구실용, 수동 웨이퍼 프로브 스테이션은 직관적인 조작과 빠른 샘플 배포로 비용 효율적인 옵션을 제공합니다.자동 생산 라인이나 100mm 이상의 웨이퍼를 처리하는 대규모 R&D 프로젝트, 첨단 모션 제어 시스템은 높은 반복성과 효율성을 갖춘 반자동 또는 완전 자동 작동을 가능하게합니다.

이 시스템의 획기적인 온도 기능은 시장에서 차별화됩니다. 진공 환경에서 700°C까지 테스트를 지원합니다.제어된 대기 조건에서 650°C의 안정적인 작동을 유지하면서연구자들은 다음과 같이 할 수 있습니다.

• 녹는 지점이나 단계 전환 근처에 물질 전기적 특성을 조사
• 높은 온도 장치의 신뢰성을 정확하게 평가
• 장애 메커니즘 및 열 유동 효과 분석
• 노화 테스트 및 열 스트레스 평가 수행

이 시스템은 몇 가지 사용자 중심 디자인 기능을 포함합니다:

• 정밀한 위치 설정을 위한 외부 수동 마이크로 조절 장치가 있는 탐사 팔
• 두 개의 열 단계 옵션: 표준 테스트를 위해 공기 냉각 및 빠른 온도 사이클을 위해 액체 질소 냉각
• 표준 7:1 줌 현미경 <4μm 해상도, 선택적으로 더 큰 확대 렌즈

이 시스템은 고온 테스트에서 중요한 엔지니어링 과제를 해결합니다.

• 진공 펌프의 간섭을 최소화하기 위한 첨단 진동 격리
• 표본과 장비를 보호하기 위한 최적화된 난방/냉각 주기가
• 극한 조건 에서 장기적 신뢰성 을 위한 견고한 건축물

이 고급 테스트 플랫폼은 연구자들에게 극한 조건에서 물질의 행동에 대한 전례 없는 통찰력을 제공합니다.실리콘카바이드 (SiC) 와 갈륨나이트라이드 (GaN) 와 같은 반도체 재료의 돌파구를 가능하게 합니다.반도체 기술이 발전함에 따라, 높은 온도에서 장치 성능을 정확하게 특징짓는 능력은 여러 산업에 걸쳐 혁신에 점점 더 중요해질 것입니다.