В разработке полупроводниковых приборов и анализе отказов крайне важно понимать характеристики материалов и приборов при экстремальных температурах. Однако традиционные методы тестирования часто не справляются из-за температурных ограничений, не удовлетворяя растущие исследовательские и промышленные потребности.

Высокотемпературная зондовая система серии CPS-HT обеспечивает исключительную производительность и гибкие конфигурации, предлагая идеальные решения для различных требований тестирования. Для исследовательских лабораторий, работающих с небольшими образцами размером до 2x2 дюймов (50x50 мм), ручная зондовая станция для пластин представляет собой экономичное решение с интуитивно понятным управлением и быстрым развертыванием образцов. Для автоматизированных производственных линий или крупномасштабных научно-исследовательских проектов, работающих с пластинами размером 100 мм и более, усовершенствованные системы управления движением обеспечивают полуавтоматический или полностью автоматический режим работы с высокой повторяемостью и эффективностью.

Прорывные температурные возможности системы выделяют ее на рынке. В вакуумных средах она поддерживает тестирование до 700°C, сохраняя стабильную работу при 650°C в контролируемых атмосферных условиях. Это позволяет исследователям:

• Исследовать электрические свойства материалов вблизи точек плавления или фазовых переходов
• Точно оценивать надежность приборов при высоких температурах
• Анализировать механизмы отказов и эффекты теплового дрейфа
• Проводить испытания на старение и оценку термических напряжений

Система включает в себя несколько ориентированных на пользователя конструктивных особенностей:

• Зондовые рычаги с внешними ручными микрорегулировками для точного позиционирования
• Два варианта термостолов: с воздушным охлаждением для стандартного тестирования и с охлаждением жидким азотом для быстрого температурного цикла
• Стандартный зум-микроскоп 7:1 с разрешением <4 мкм, с опциональными линзами с большим увеличением Инженерные аспекты и надежность

Усовершенствованная виброизоляция для минимизации помех от вакуумных насосов

• Оптимизированные циклы нагрева/охлаждения для защиты образцов и оборудования
• Прочная конструкция для долгосрочной надежности в экстремальных условиях
• Влияние на исследования и будущий потенциал