Trong việc theo đuổi sự phát triển thiết bị bán dẫn và phân tích lỗi, việc hiểu hiệu suất vật liệu và thiết bị dưới nhiệt độ cực kỳ là rất quan trọng.thường bị thiếu do hạn chế nhiệt độ, không đáp ứng được nhu cầu nghiên cứu và công nghiệp ngày càng tăng.

Hệ thống thăm dò nhiệt độ cao CPS-HT cung cấp hiệu suất đặc biệt và cấu hình linh hoạt, cung cấp các giải pháp lý tưởng cho các yêu cầu thử nghiệm khác nhau.Đối với các phòng thí nghiệm nghiên cứu làm việc với các mẫu nhỏ dưới 2 × 2 inch (50 × 50 mm), trạm thăm dò wafer thủ công cung cấp một lựa chọn hiệu quả về chi phí với hoạt động trực quan và triển khai mẫu nhanh chóng.Đối với các dây chuyền sản xuất tự động hoặc các dự án R & D quy mô lớn xử lý miếng mềm 100 mm hoặc lớn hơn, các hệ thống điều khiển chuyển động tiên tiến cho phép hoạt động bán tự động hoặc hoàn toàn tự động với khả năng lặp lại và hiệu quả cao.

Khả năng nhiệt độ đột phá của hệ thống làm cho nó khác biệt trên thị trường.trong khi duy trì hoạt động ổn định ở nhiệt độ 650 °C trong điều kiện khí quyển được kiểm soátĐiều này cho phép các nhà nghiên cứu:

• Điều tra tính chất điện của vật liệu gần điểm nóng chảy hoặc chuyển đổi pha
• Đánh giá chính xác độ tin cậy của thiết bị nhiệt độ cao
• Phân tích các cơ chế thất bại và tác dụng trôi nhiệt
• Thực hiện các thử nghiệm lão hóa và đánh giá căng thẳng nhiệt

Hệ thống kết hợp một số tính năng thiết kế tập trung vào người dùng:

• Các cánh tay thăm dò với các bộ điều chỉnh vi mô bằng tay bên ngoài để định vị chính xác
• Các tùy chọn hai giai đoạn nhiệt: làm mát bằng không khí cho thử nghiệm tiêu chuẩn và làm mát bằng nitơ lỏng cho chu kỳ nhiệt độ nhanh
• Kính hiển vi zoom tiêu chuẩn 7: 1 với độ phân giải < 4μm, với ống kính phóng to cao hơn tùy chọn

Hệ thống giải quyết các thách thức kỹ thuật quan trọng trong thử nghiệm nhiệt độ cao:

• Cách ly rung tiên tiến để giảm thiểu sự can thiệp từ máy bơm chân không
• Các chu kỳ sưởi ấm / làm mát tối ưu để bảo vệ các mẫu và thiết bị
• Xây dựng mạnh mẽ cho độ tin cậy lâu dài trong điều kiện khắc nghiệt

Nền tảng thử nghiệm tiên tiến này cung cấp cho các nhà nghiên cứu những hiểu biết chưa từng có về hành vi của vật liệu trong điều kiện cực đoan,cho phép đột phá trong các vật liệu bán dẫn như silicon carbide (SiC) và gallium nitride (GaN)Khi công nghệ bán dẫn tiến bộ, khả năng mô tả chính xác hiệu suất thiết bị ở nhiệt độ cao sẽ ngày càng trở nên quan trọng cho sự đổi mới trên nhiều ngành công nghiệp.