Stacja próżniowa z wieloma sondami, konfiguracja 6 sond -190°C do 400°C Stabilność ±0,1°C Testowanie płytek z BNC triaksjalnym

Stacja probiercza GoGo ECH400V-MP z wieloma sondami redefiniuje elastyczność w charakteryzacji urządzeń elektrycznych dzięki kompleksowej konfiguracji 6 sond. Tam, gdzie standardowe stacje 4-sondowe ograniczają topologie pomiarowe, ECH400V-MP umożliwia jednoczesny dostęp wieloterminalowy, niezbędny do pomiarów efektu Halla, charakteryzacji tranzystorów wielobramkowych, testowania oscylatorów pierścieniowych i złożonych struktur urządzeń wymagających jednoczesnych kontaktów źródła, drenu, bramki, podłoża i ciała. Wszystkie sześć pozłacanych sond współosiowych z węglika wolframu posiada niezależne ręczne pozycjonowanie XYZ za pomocą mikrometru z zakresem ruchu ±6 mm, co daje badaczom pełną swobodę w konfigurowaniu układów sond dla dowolnej geometrii urządzenia.

Pracując w szczelnej komorze próżniowej w pełnym zakresie temperatur od -190°C do 400°C, ta stacja probiercza zapewnia kontrolę środowiskową niezbędną do charakteryzacji urządzeń wrażliwych na temperaturę bez zakłóceń atmosferycznych. System chłodzenia ciekłym azotem zapewnia stabilne działanie kriogeniczne do pomiarów transportu kwantowego, podczas gdy rezystancyjny element grzejny umożliwia szybką charakterystykę termiczną działania urządzenia w zakresie prawie 600°C. Stabilność ±0.1°C zapewnia, że subtelne sygnatury elektryczne zależne od temperatury są rejestrowane z precyzją wymaganą do publikacji w czasopismach najwyższej klasy.

Każdy z sześciu kanałów sond zakończony jest dedykowanym portem BNC triaksjalnym, zapewniającym indywidualnie ekranowane ścieżki sygnałowe, które minimalizują przesłuchy między kanałami pomiarowymi. Taka architektura jest szczególnie cenna w przypadku pomiarów typu Hall bar, gdzie jednoczesne pomiary napięcia i prądu na sąsiednich stykach wymagają wyjątkowej izolacji między kanałami. Pakiet oprogramowania TNEX obsługuje zautomatyzowane sekwencjonowanie pomiarów wielokanałowych, umożliwiając wydajne przepływy pracy związane z przesiewaniem na poziomie płytek, gdzie wiele urządzeń musi być charakteryzowanych w identycznych warunkach termicznych.

• Niezależna konfiguracja 6 sond: Sześć w pełni niezależnych pozłacanych sond współosiowych z węglika wolframu z dedykowanym pozycjonowaniem XYZ za pomocą mikrometru zapewnia elastyczność w charakteryzacji złożonych urządzeń wieloterminalowych, w tym pasków Halla, tranzystorów wielobramkowych i zintegrowanych struktur testowych.
• Pełny zakres temperatur od kriogenicznych do wysokich: Chłodzenie ciekłym azotem do -190°C w połączeniu z ogrzewaniem rezystancyjnym do 400°C umożliwia pełną charakterystykę zależną od temperatury w zakresie operacyjnym 590°C w jednym środowisku próżniowym.
• Indywidualnie ekranowane kanały triaksjalne: Sześć dedykowanych portów BNC triaksjalnych z ekranowaniem na kanał minimalizuje przesłuchy i prądy upływu, co jest niezbędne do dokładnych jednoczesnych pomiarów na sąsiednich terminalach urządzenia.
• Ochrona środowiska próżniowego: Hermetycznie zamknięta komora zapobiega kondensacji podczas pracy w niskich temperaturach i utlenianiu podczas pomiarów w wysokich temperaturach, umożliwiając określenie prawdziwych wewnętrznych właściwości urządzenia.
• Gotowość do przesiewania na poziomie płytek: Platforma próbki o wymiarach 23 mm x 23 mm i elastyczność sześciu sond obsługują charakteryzację wielu matryc bez konieczności ponownego montażu próbki, co znacznie zwiększa przepustowość w przepływach pracy związanych z przesiewaniem urządzeń na poziomie płytek.
• Zautomatyzowane sekwencjonowanie wielokanałowe TNEX: Zintegrowane oprogramowanie umożliwia programowalne sekwencje pomiarowe na wszystkich sześciu kanałach zsynchronizowane z profilami temperatury, automatyzując złożone protokoły charakteryzacji wieloterminalowej.

Stacja probiercza ECH400V-MP rozwiązuje problemy pomiarowe grup badawczych i laboratoriów przemysłowych pracujących ze złożonymi urządzeniami wieloterminalowymi. Fizycy materii skondensowanej polegają na konfiguracji 6 sond do pomiarów efektu Halla na nowych materiałach 2D, izolatorach topologicznych i systemach Halla kwantowego, gdzie jednoczesne pomiary napięcia wzdłużnego i poprzecznego wymagają wielu niezależnych kontaktów sond. Badacze urządzeń półprzewodnikowych wykorzystują możliwość wielokrotnych sond do charakteryzacji tranzystorów FinFET z wieloma bramkami i tranzystorów typu gate-all-around, mapując charakterystyki przejściowe jako funkcje temperatury w pełnym zakresie od kriogenicznego do podwyższonego. Rozwijająca się społeczność zajmująca się obliczeniami kwantowymi wykorzystuje możliwości kriogeniczne do testowania struktur testowych kubitów nadprzewodzących, macierzy złączy Josephsona i urządzeń punktów kwantowych w temperaturach bazowych dostępnych w zakresie mili-Kelwinów. Przemysłowe odlewnie półprzewodników wykorzystują konfigurację 6 sond do monitorowania kontroli procesów struktur grup elementów testowych na płytkach produkcyjnych, gdzie szybki dostęp wieloterminalowy przyspiesza zbieranie danych statycznej kontroli procesów. Badacze fotoniki zintegrowanej korzystają ze środowiska próżniowego i dostępu wielosondowego do charakteryzacji modulatorów elektrooptycznych, macierzy fotodetektorów i hybrydowych układów scalonych fotoniczno-elektronicznych w kontrolowanych warunkach termicznych.

Każda stacja probiercza ECH400V-MP przechodzi kompleksowe testy odbiorcze w fabryce zgodnie z systemami zarządzania jakością certyfikowanymi zgodnie z normami ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 i ISO 45001:2018. Testy obejmują weryfikację rezystancji styku każdej sondy, pomiar izolacji między kanałami, certyfikację prądu upływu triaksjalnego do poziomu sub-pikampere, kalibrację temperatury w pełnym zakresie z weryfikacją 18 punktów oraz certyfikację szybkości wycieku komory próżniowej. Kompletny system jest pakowany w wzmocnioną walizkę lotniczą ze stopu aluminium z indywidualnie poprowadzonymi przegrodami piankowymi dla wszystkich sześciu manipulatorów sond, opakowaniem barierowym odpornym na wilgoć z uszczelnieniem próżniowym oraz drewnianą skrzynią klasy eksportowej ze zintegrowanymi wskaźnikami wstrząsów, nachylenia i wilgotności. Standardowa dostawa obejmuje stację probierczą ECH400V-MP z sześcioma manipulatorami sond, precyzyjny kontroler temperatury, kontroler chłodzenia, 10-litrowy dewar z ciekłym azotem, obiegowy agregat chłodniczy, licencję na oprogramowanie TNEX, sześć zestawów kabli BNC triaksjalnych, zestaw przyłączeniowy pompy próżniowej oraz wszystkie wymagane komponenty połączeniowe. Opcjonalne akcesoria obejmują niestandardowe geometrie końcówek sond, ramiona sond wysokiej częstotliwości o mocy do 40 GHz, dodatkowe pozycjonery sond do rozszerzenia do konfiguracji 8-sondowej oraz zautomatyzowane systemy uzupełniania ciekłego azotu do nieobserwowanych pomiarów kriogenicznych o długim czasie trwania. Standardowa gwarancja wynosi 12 miesięcy, z opcjonalnymi rozszerzonymi planami serwisowymi i priorytetowym wsparciem aplikacyjnym.