複数の探査機 真空探査機 6 探査機 コンフィギュレーション -190°C~400°C ±0.1°C 安定性 三軸 BNC ウェーファーレベル試験

GoGo ECH400V-MPマルチプローブ真空プローブステーションは、包括的な6プローブ構成により、電気デバイス特性評価における柔軟性を再定義します。標準的な4プローブステーションが測定トポロジーを制限するのに対し、ECH400V-MPはホール効果測定、マルチゲートトランジスタ特性評価、リングオシレータテスト、およびソース、ドレイン、ゲート、ボディ、サブストラクチャコンタクトを同時に必要とする複雑なデバイス構造に不可欠な同時マルチターミナルアクセスを可能にします。6つの金メッキタングステンカーバイド同軸プローブはすべて、±6mmの移動範囲を持つ独立した手動マイクロメータXYZ位置決め機能を備えており、研究者はあらゆるデバイス形状に合わせてプローブ配置を自由に構成できます。

密閉された真空チャンバー内で、-190℃から400℃の全温度範囲で動作するこのプローブステーションは、大気干渉なしに温度に敏感なデバイスの特性評価に不可欠な環境制御を提供します。液体窒素冷却システムは、量子輸送測定のための安定した極低温動作を実現し、抵抗加熱エレメントは、ほぼ600℃の範囲にわたるデバイス性能の迅速な熱特性評価を可能にします。±0.1℃の安定性により、トップティアジャーナルでの出版に必要な精度で、微妙な温度依存性の電気的シグネチャが捉えられます。

6つのプローブチャネルはそれぞれ専用のトライアキシャルBNCポートに終端され、個別にガードされた信号経路を提供し、測定チャネル間のクロストークを最小限に抑えます。このアーキテクチャは、隣接するコンタクトでの同時電圧および電流測定が優れたチャネル間アイソレーションを要求するホールバー測定に特に価値があります。TNEXソフトウェアスイートは、自動マルチチャネル測定シーケンスをサポートし、複数のデバイスを同一の熱条件下で特性評価する必要があるウェーハレベルのスクリーニングワークフローを効率化します。

• 6プローブ独立構成:専用マイクロメータXYZ位置決めを備えた6つの完全に独立した金メッキタングステンカーバイド同軸プローブは、ホールバー、マルチゲートトランジスタ、および統合テスト構造を含む複雑なマルチターミナルデバイスの特性評価のための柔軟性を提供します。
• 極低温から高温までの全範囲:液体窒素による-190℃までの冷却と、400℃までの抵抗加熱を組み合わせることで、単一の真空環境内で590℃の動作範囲にわたる完全な温度依存性特性評価が可能になります。
• 個別にガードされたトライアキシャルチャネル:チャネルごとのガードを備えた6つの専用トライアキシャルBNCポートは、クロストークとリーク電流を最小限に抑え、隣接するデバイス端子での正確な同時測定に不可欠です。
• 真空環境保護:気密密閉されたチャンバーは、極低温動作中の結露や高温測定中の酸化を防ぎ、真の固有デバイス特性の決定を可能にします。
• ウェーハレベルスクリーニング対応:23mm x 23mmのサンプルプラットフォームと6プローブの柔軟性は、サンプルの再マウントなしでのマルチダイ特性評価をサポートし、ウェーハレベルデバイススクリーニングワークフローのスループットを劇的に向上させます。
• TNEX自動マルチチャネルシーケンス:統合ソフトウェアは、温度プロファイルと同期した6チャネルすべてにわたるプログラム可能な測定シーケンスを可能にし、複雑なマルチターミナル特性評価プロトコルを自動化します。

ECH400V-MPプローブステーションは、複雑なマルチターミナルデバイスを扱う研究グループや産業研究所の測定課題に対応します。物性物理学者は、同時縦・横電圧測定が複数の独立したプローブコンタクトを要求する新しい2D材料、トポロジカル絶縁体、および量子ホールシステムでのホール効果測定に6プローブ構成を利用しています。半導体デバイス研究者は、マルチゲートFinFETおよびゲートオールアラウンドトランジスタ構造の特性評価にマルチプローブ機能を使用し、極低温から高温までの全範囲にわたる温度の関数としての伝達特性をマッピングします。新興の量子コンピューティングコミュニティは、ミリケルビンアクセス可能な基底温度での超伝導量子ビットテスト構造、ジョセフソン接合アレイ、および量子ポイントコンタクトデバイスのテストに極低温機能を利用しています。産業用半導体ファウンドリは、生産ウェーハ上のテストエレメントグループ構造のプロセス制御監視に6プローブ構成を利用しており、迅速なマルチターミナルアクセスにより統計的プロセス制御データ収集が加速されます。統合フォトニクス研究者は、制御された熱条件下での電気光学変調器、フォトディテクタアレイ、およびハイブリッドフォトニック・電子統合回路の特性評価のために、真空環境とマルチプローブアクセスから恩恵を受けます。

各ECH400V-MPプローブステーションは、ISO 9001:2015、ISO 14001:2015、およびISO 45001:2018認定の品質管理システムの下で包括的な工場受け入れテストを受けます。テストには、個々のプローブ接触抵抗検証、チャネル間アイソレーション測定、サブピコアンペアレベルまでのトライアキシャルリーク電流認証、18点検証による全範囲温度校正、および真空チャンバーリーク率認証が含まれます。システム全体は、6つのプローブマニピュレータすべてに個別に配線されたフォームコンパートメントを備えた強化アルミニウム合金フライトケース、真空シールされた防湿包装、および統合された衝撃、傾斜、湿度インジケータを備えた輸出グレードの木製クレートに梱包されます。標準配送には、6つのプローブマニピュレータ、高精度温度コントローラー、冷却コントローラー、10リットル液体窒素デュワー、循環チラー、TNEXソフトウェアライセンス、6つのトライアキシャルBNCケーブルアセンブリ、真空ポンプ接続キット、および必要なすべての相互接続コンポーネントを備えたECH400V-MPプローブステーションが含まれます。オプションのアクセサリには、カスタマイズされたプローブチップ形状、40 GHz定格の高周波プローブアーム、8プローブ構成への拡張のための追加プローブポジショナ、および無人長期間極低温測定のための自動液体窒素補充システムが含まれます。標準保証は12ヶ月で、オプションの延長サービスプランと優先アプリケーションサポートが利用可能です。