Station de sondage sous vide multi-sondes Configuration 6 sondes -190°C à 400°C Stabilité ±0,1°C Tests sur plaquette BNC triaxiaux

Le GoGo ECH400V-MP Multi-Probe Vacuum Probe Station redéfinit la flexibilité dans la caractérisation des appareils électriques avec une configuration complète de 6 sondes.Lorsque les stations standard à 4 sondes limitent les topologies de mesure, l'ECH400V-MP permet un accès simultané à plusieurs terminaux essentiels pour les mesures de l'effet Hall, la caractérisation de transistors à portes multiples, les essais d'oscillateur à anneau,et des structures de dispositifs complexes nécessitant une sourceLes six sondes coaxial en carbure de tungstène plaqué or disposent d'un positionnement XYZ manuel indépendant avec un déplacement de ±6 mm.donnant aux chercheurs une totale liberté de configurer les arrangements de la sonde pour toute géométrie du dispositif.

fonctionnant dans une chambre à vide scellée dans la gamme complète de températures comprise entre -190 °C et 400 °C,Cette station de sonde fournit le contrôle environnemental essentiel pour caractériser les dispositifs sensibles à la température sans interférence atmosphériqueLe système de refroidissement à l'azote liquide permet un fonctionnement cryogénique stable pour les mesures de transport quantique.tandis que l'élément de chauffage résistif permet une caractérisation thermique rapide des performances de l'appareil sur une plage de près de 600 °CLa stabilité de ± 0,1°C garantit que les signaux électriques subtils dépendants de la température sont capturés avec la précision requise pour la publication dans des revues de premier ordre.

Chacun des six canaux de sonde se termine dans un port BNC triaxial dédié, fournissant des chemins de signal individuellement gardés qui minimisent le bruit croisé entre les canaux de mesure.Cette architecture est particulièrement précieuse pour les mesures de barres de Hall où les mesures simultanées de tension et de courant sur les contacts adjacents exigent une isolation exceptionnelle de canal à canalLa suite logicielle TNEX prend en charge le séquençage automatisé de mesures multicanal,permettant des flux de travail efficaces de dépistage au niveau des plaquettes lorsque plusieurs dispositifs doivent être caractérisés dans des conditions thermiques identiques.

• Configuration indépendante de la sonde 6:Six sondes coaxial en carbure de tungstène plaqué or entièrement indépendantes avec positionnement XYZ micrométrique dédié offrent la flexibilité nécessaire pour caractériser des dispositifs complexes à terminaux multiples, y compris les barres de Hall,autres appareils pour la fabrication de lampes de poche, et des structures d'essai intégrées.
• Plage totale de température cryogénique à haute température:Le refroidissement à l'azote liquide à -190°C combiné au chauffage résistif à 400°C permet une caractérisation complète dépendante de la température sur une durée de fonctionnement de 590°C dans un seul environnement sous vide.
• Les canaux triaxiaux garantis individuellement:Six ports BNC triaxiaux dédiés avec une protection par canal minimisent le bruit croisé et les courants de fuite, essentiels pour des mesures simultanées précises sur les terminaux d'appareils adjacents.
• Protection de l'environnement sous videLa chambre hermétiquement scellée empêche la condensation pendant le fonctionnement cryogénique et l'oxydation pendant les mesures à haute température, permettant une véritable détermination des propriétés intrinsèques du dispositif.
• Prêt pour le dépistage au niveau des plaquettes:La plate-forme d'échantillonnage de 23 mm x 23 mm et la flexibilité de six sondes prennent en charge la caractérisation multi-die sans remontage d'échantillon, améliorant considérablement le débit pour les flux de travail de dépistage des dispositifs au niveau des plaquettes.
• TNEX Séquence automatique multicanal:Un logiciel intégré permet de programmer des séquences de mesure sur les six canaux synchronisés avec des profils de température, automatisant des protocoles de caractérisation complexes à plusieurs terminaux.

La station de sonde ECH400V-MP répond aux défis de mesure des groupes de recherche et des laboratoires industriels travaillant avec des dispositifs complexes à terminaux multiples.Les physiciens de la matière condensée s'appuient sur la configuration de 6 sondes pour les mesures de l'effet Hall sur de nouveaux matériaux 2D, les isolants topologiques et les systèmes Hall quantiques, où les mesures de tension longitudinale et transversale simultanées exigent plusieurs contacts de sonde indépendants.Les chercheurs en dispositifs semi-conducteurs utilisent la capacité de multi-sonde pour caractériser les structures de transistors FinFET multi-porte et porte tout autour, en cartographiant les caractéristiques de transfert en fonction de la température dans toute la gamme cryogénique à élevée.La communauté émergente de l'informatique quantique utilise la capacité cryogénique pour tester les structures de test de qubits supraconducteurs, des ensembles de jonctions Josephson, et des dispositifs de contact de points quantiques à des températures de base accessibles en millikelvin.Les fonderies de semi-conducteurs industriels utilisent la configuration à 6 sondes pour la surveillance du contrôle de processus des structures des groupes d'éléments d'essai sur les plaquettes de production, où l'accès rapide à plusieurs terminaux accélère la collecte de données de contrôle de processus statistiques.Les chercheurs en photonique intégrée bénéficient de l'environnement sous vide et de l'accès à plusieurs sondes pour caractériser les modulateurs électro-optiques, des ensembles de photodétecteurs et des circuits intégrés électroniques photoniques hybrides dans des conditions thermiques contrôlées.

Chaque station de sonde ECH400V-MP est soumise à des essais complets d'acceptation en usine conformément à la norme ISO 9001:2015, norme ISO 14001:2015, et systèmes de gestion de la qualité certifiés ISO 45001:2018. Les essais comprennent la vérification de la résistance au contact de la sonde individuelle, la mesure de l'isolement de canal en canal,certification du courant de fuite triaxial à des niveaux de sous-picoampères, étalonnage à température complète avec vérification en 18 points et certification du taux de fuite de la chambre à vide.Le système complet est emballé dans un boîtier de vol en alliage d'aluminium renforcé avec des compartiments en mousse routés individuellement pour les six manipulateurs de sonde, un emballage hermétique scellé sous vide et une caisse en bois de qualité export avec des indicateurs intégrés de choc, d'inclinaison et d'humidité.La livraison standard comprend la station de sonde ECH400V-MP avec six manipulateurs de sonde, régulateur de température de précision, régulateur de refroidissement, 10 litres d'azote liquide Dewar, refroidisseur à recirculation, licence de logiciel TNEX, six ensembles de câbles BNC triaxiaux, kit de connexion de pompe à vide,et tous les composants d'interconnexion requisLes accessoires optionnels comprennent des géométries de pointe de sonde personnalisées, des bras de sonde haute fréquence de 40 GHz, des positionnateurs de sonde supplémentaires pour l'expansion à la configuration de 8 sondes,et systèmes automatisés de remplissage d'azote liquide pour les mesures cryogéniques de longue durée non surveilléesLa garantie standard est de 12 mois avec des plans de service étendus optionnels et un support prioritaire des applications disponibles.