Estación de sonda de vacío multisondeo Configuración de 6 sondas -190 °C a 400 °C Estabilidad ±0.1 °C Pruebas de obleas BNC triaxiales

La estación de sondas de vacío multiprobe GoGo ECH400V-MP redefine la flexibilidad en la caracterización de dispositivos eléctricos con una configuración integral de 6 sondas. Donde las estaciones de 4 sondas estándar limitan las topologías de medición, la ECH400V-MP permite el acceso simultáneo multicanal esencial para mediciones de efecto Hall, caracterización de transistores multigates, pruebas de osciladores en anillo y estructuras de dispositivos complejas que requieren contactos de fuente, drenador, puerta, cuerpo y sustrato simultáneamente. Las seis sondas coaxiales de carburo de tungsteno chapadas en oro cuentan con posicionamiento manual independiente de micrómetro XYZ con un recorrido de ±6 mm, lo que brinda a los investigadores total libertad para configurar las disposiciones de las sondas para cualquier geometría de dispositivo.

Operando dentro de una cámara de vacío sellada en todo el rango de temperatura de -190 °C a 400 °C, esta estación de sondas proporciona el control ambiental esencial para caracterizar dispositivos sensibles a la temperatura sin interferencia atmosférica. El sistema de enfriamiento con nitrógeno líquido logra una operación criogénica estable para mediciones de transporte cuántico, mientras que el elemento calefactor resistivo permite una caracterización térmica rápida del rendimiento del dispositivo en un rango de casi 600 °C. La estabilidad de ±0.1 °C garantiza que las sutiles firmas eléctricas dependientes de la temperatura se capturen con la precisión requerida para su publicación en revistas de primer nivel.

Cada uno de los seis canales de sonda termina en un puerto BNC triaxial dedicado, que proporciona rutas de señal protegidas individualmente que minimizan la diafonía entre los canales de medición. Esta arquitectura es particularmente valiosa para mediciones de barra Hall donde las mediciones simultáneas de voltaje y corriente en contactos adyacentes exigen un aislamiento excepcional entre canales. La suite de software TNEX admite la secuenciación automatizada de mediciones multicanal, lo que permite flujos de trabajo eficientes de cribado a nivel de oblea donde se deben caracterizar múltiples dispositivos bajo condiciones térmicas idénticas.

• Configuración Independiente de 6 Sondas: Seis sondas coaxiales de carburo de tungsteno chapadas en oro completamente independientes con posicionamiento XYZ de micrómetro dedicado brindan la flexibilidad para caracterizar dispositivos multicanal complejos, incluidas barras Hall, transistores multigates y estructuras de prueba integradas.
• Rango Completo de Criogénico a Alta Temperatura: El enfriamiento con nitrógeno líquido a -190 °C combinado con calentamiento resistivo a 400 °C permite una caracterización completa dependiente de la temperatura en un rango operativo de 590 °C dentro de un único entorno de vacío.
• Canales Triaxiales Protegidos Individualmente: Seis puertos BNC triaxiales dedicados con protección por canal minimizan la diafonía y las corrientes de fuga, lo que es esencial para mediciones simultáneas precisas en terminales de dispositivos adyacentes.
• Protección del Entorno de Vacío: La cámara herméticamente sellada evita la condensación durante la operación criogénica y la oxidación durante las mediciones a alta temperatura, lo que permite la determinación de las propiedades intrínsecas verdaderas del dispositivo.
• Listo para Cribado a Nivel de Oblea: La plataforma de muestra de 23 mm x 23 mm y la flexibilidad de seis sondas admiten la caracterización de múltiples dados sin volver a montar la muestra, lo que mejora drásticamente el rendimiento de los flujos de trabajo de cribado de dispositivos a nivel de oblea.
• Secuenciación Automatizada Multicanal TNEX: El software integrado permite secuencias de medición programables en los seis canales sincronizadas con perfiles de temperatura, automatizando protocolos complejos de caracterización multicanal.

La estación de sondas ECH400V-MP aborda los desafíos de medición de grupos de investigación y laboratorios industriales que trabajan con dispositivos multicanal complejos. Los físicos de materia condensada confían en la configuración de 6 sondas para mediciones de efecto Hall en nuevos materiales 2D, aislantes topológicos y sistemas de Hall cuántico, donde las mediciones simultáneas de voltaje longitudinal y transversal exigen múltiples contactos de sonda independientes. Los investigadores de dispositivos semiconductores utilizan la capacidad multiprobe para caracterizar estructuras de transistores FinFET multigates y gate-all-around, mapeando las características de transferencia en función de la temperatura en todo el rango criogénico a elevado. La emergente comunidad de computación cuántica emplea la capacidad criogénica para probar estructuras de prueba de qubits superconductores, arreglos de uniones Josephson y dispositivos de contacto de puntos cuánticos a temperaturas base accesibles en milikelvin. Las fundiciones de semiconductores industriales utilizan la configuración de 6 sondas para el monitoreo del control de procesos de estructuras de grupos de elementos de prueba en obleas de producción, donde el acceso multicanal rápido acelera la recopilación de datos de control de procesos estadísticos. Los investigadores de fotónica integrada se benefician del entorno de vacío y el acceso multiprobe para caracterizar moduladores electro-ópticos, arreglos de fotodetectores y circuitos integrados fotónicos-electrónicos híbridos en condiciones térmicas controladas.

Cada estación de sondas ECH400V-MP se somete a pruebas de aceptación de fábrica integrales bajo sistemas de gestión de calidad certificados ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 e ISO 45001:2018. Las pruebas incluyen verificación de resistencia de contacto de sonda individual, medición de aislamiento entre canales, certificación de corriente de fuga triaxial a niveles de sub-picoamperio, calibración de temperatura de rango completo con verificación de 18 puntos y certificación de tasa de fuga de la cámara de vacío. El sistema completo se empaqueta en un estuche de vuelo reforzado de aleación de aluminio con compartimentos de espuma enrutados individualmente para los seis manipuladores de sonda, embalaje de barrera de humedad sellado al vacío y una caja de madera de grado de exportación con indicadores integrados de choque, inclinación y humedad. La entrega estándar incluye la estación de sondas ECH400V-MP con seis manipuladores de sonda, controlador de temperatura de precisión, controlador de enfriamiento, Dewar de nitrógeno líquido de 10 litros, enfriador de recirculación, licencia de software TNEX, seis ensamblajes de cable BNC triaxial, kit de conexión de bomba de vacío y todos los componentes de interconexión requeridos. Los accesorios opcionales incluyen geometrías de punta de sonda personalizadas, brazos de sonda de alta frecuencia clasificados hasta 40 GHz, posicionadores de sonda adicionales para expansión a configuración de 8 sondas y sistemas de recarga automática de nitrógeno líquido para mediciones criogénicas de larga duración sin supervisión. La garantía estándar es de 12 meses con planes de servicio extendido opcionales y soporte de aplicaciones prioritario disponible.