Multi-Probe Vacuum Probe Station 6-Probe Configuration -190°C ถึง 400°C ±0.1°C ความมั่นคง การทดสอบระดับกระดาน BNC ทรีเอ็กซี่

สถานีโพรบสุญญากาศแบบหลายโพรบ GoGo ECH400V-MP กำหนดนิยามใหม่ของความยืดหยุ่นในการจำแนกลักษณะอุปกรณ์ไฟฟ้าด้วยการกำหนดค่าโพรบ 6 ตัวที่ครอบคลุม ในขณะที่สถานีโพรบแบบ 4 ตัวมาตรฐานจำกัดโทโพโลยีการวัด ECH400V-MP ช่วยให้สามารถเข้าถึงขั้วต่อหลายขั้วพร้อมกันได้ ซึ่งจำเป็นสำหรับการวัดปรากฏการณ์ฮอลล์ การจำแนกลักษณะทรานซิสเตอร์แบบหลายเกต การทดสอบวงจรรีง และโครงสร้างอุปกรณ์ที่ซับซ้อนซึ่งต้องการการสัมผัสแหล่งกำเนิด เดรน เกต ตัว และซับสเตรตพร้อมกัน โพรบโคแอกเชียลคาร์ไบด์ทังสเตนชุบทองทั้งหกตัวมีตำแหน่งไมโครมิเตอร์ XYZ แบบแมนนวลอิสระพร้อมระยะการเคลื่อนที่ ±6 มม. ทำให้ผู้วิจัยมีอิสระอย่างเต็มที่ในการกำหนดค่าการจัดเรียงโพรบสำหรับรูปทรงเรขาคณิตของอุปกรณ์ใดๆ

สถานีโพรบนี้ทำงานภายในห้องสุญญากาศแบบปิดผนึกในช่วงอุณหภูมิเต็มตั้งแต่ -190°C ถึง 400°C ให้การควบคุมสภาพแวดล้อมที่จำเป็นสำหรับการจำแนกลักษณะอุปกรณ์ที่ไวต่ออุณหภูมิโดยไม่มีการรบกวนจากบรรยากาศ ระบบทำความเย็นด้วยไนโตรเจนเหลวให้การทำงานที่อุณหภูมิต่ำมากที่เสถียรสำหรับการวัดการขนส่งควอนตัม ในขณะที่องค์ประกอบความร้อนแบบต้านทานช่วยให้สามารถจำแนกลักษณะทางความร้อนของประสิทธิภาพอุปกรณ์ได้อย่างรวดเร็วในช่วงเกือบ 600°C ความเสถียร ±0.1°C ช่วยให้มั่นใจได้ว่าลายเซ็นทางไฟฟ้าที่ขึ้นกับอุณหภูมิที่ละเอียดอ่อนจะถูกจับภาพด้วยความแม่นยำที่จำเป็นสำหรับการตีพิมพ์ในวารสารชั้นนำ

โพรบแต่ละช่องจากหกช่องจะสิ้นสุดที่พอร์ต BNC แบบไตรแอกเชียลเฉพาะ ให้เส้นทางสัญญาณที่ได้รับการป้องกันเป็นรายบุคคล ซึ่งช่วยลดการครอสทอล์คระหว่างช่องทางการวัด สถาปัตยกรรมนี้มีคุณค่าอย่างยิ่งสำหรับการวัดแถบฮอลล์ ซึ่งการวัดแรงดันและกระแสพร้อมกันบนขั้วต่อที่อยู่ติดกันต้องการการแยกช่องสัญญาณต่อช่องสัญญาณที่ยอดเยี่ยม ชุดซอฟต์แวร์ TNEX รองรับการจัดลำดับการวัดแบบหลายช่องสัญญาณอัตโนมัติ ช่วยให้เวิร์กโฟลว์การคัดกรองระดับเวเฟอร์มีประสิทธิภาพ ซึ่งต้องจำแนกลักษณะอุปกรณ์หลายตัวภายใต้สภาวะความร้อนที่เหมือนกัน

• การกำหนดค่าอิสระ 6 โพรบ: โพรบโคแอกเชียลคาร์ไบด์ทังสเตนชุบทองอิสระเต็มรูปแบบหกตัวพร้อมตำแหน่งไมโครมิเตอร์ XYZ เฉพาะ ให้ความยืดหยุ่นในการจำแนกลักษณะอุปกรณ์แบบหลายขั้วต่อที่ซับซ้อน รวมถึงแถบฮอลล์ ทรานซิสเตอร์แบบหลายเกต และโครงสร้างทดสอบแบบรวม
• ช่วงอุณหภูมิต่ำมากถึงอุณหภูมิสูงเต็มรูปแบบ: การทำความเย็นด้วยไนโตรเจนเหลวถึง -190°C ร่วมกับการให้ความร้อนแบบต้านทานถึง 400°C ช่วยให้สามารถจำแนกลักษณะที่ขึ้นกับอุณหภูมิได้อย่างสมบูรณ์ในช่วงการทำงาน 590°C ภายในสภาพแวดล้อมสุญญากาศเดียว
• ช่องสัญญาณไตรแอกเชียลที่ได้รับการป้องกันเป็นรายบุคคล: พอร์ต BNC แบบไตรแอกเชียลเฉพาะหกพอร์ตพร้อมการป้องกันต่อช่องสัญญาณช่วยลดการครอสทอล์คและกระแสไฟรั่ว ซึ่งจำเป็นสำหรับการวัดพร้อมกันที่แม่นยำบนขั้วต่ออุปกรณ์ที่อยู่ติดกัน
• การป้องกันสภาพแวดล้อมสุญญากาศ: ห้องปิดผนึกอย่างแน่นหนาป้องกันการควบแน่นระหว่างการทำงานที่อุณหภูมิต่ำมากและการเกิดออกซิเดชันระหว่างการวัดที่อุณหภูมิสูง ช่วยให้สามารถกำหนดคุณสมบัติอุปกรณ์ภายในที่แท้จริงได้
• พร้อมสำหรับการคัดกรองระดับเวเฟอร์: แพลตฟอร์มตัวอย่างขนาด 23 มม. x 23 มม. และความยืดหยุ่นของโพรบหกตัวรองรับการจำแนกลักษณะหลายไดร์โดยไม่ต้องติดตั้งตัวอย่างใหม่ ช่วยเพิ่มปริมาณงานสำหรับเวิร์กโฟลว์การคัดกรองอุปกรณ์ระดับเวเฟอร์ได้อย่างมาก
• การจัดลำดับแบบหลายช่องสัญญาณอัตโนมัติ TNEX: ซอฟต์แวร์ในตัวช่วยให้สามารถจัดลำดับการวัดที่ตั้งโปรแกรมได้ผ่านทั้งหกช่องสัญญาณที่ซิงโครไนซ์กับโปรไฟล์อุณหภูมิ ทำให้กระบวนการจำแนกลักษณะแบบหลายขั้วต่อที่ซับซ้อนเป็นไปโดยอัตโนมัติ

สถานีโพรบ ECH400V-MP แก้ปัญหาความท้าทายในการวัดของกลุ่มวิจัยและห้องปฏิบัติการอุตสาหกรรมที่ทำงานกับอุปกรณ์แบบหลายขั้วต่อที่ซับซ้อน นักฟิสิกส์สสารควบแน่นอาศัยการกำหนดค่าโพรบ 6 ตัวสำหรับการวัดปรากฏการณ์ฮอลล์บนวัสดุ 2 มิติใหม่ ฉนวนเชิงทอพอโลยี และระบบฮอลล์ควอนตัม ซึ่งการวัดแรงดันตามยาวและตามขวางพร้อมกันต้องการหน้าสัมผัสโพรบอิสระหลายตัว นักวิจัยอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำใช้ความสามารถแบบหลายโพรบสำหรับการจำแนกลักษณะโครงสร้างทรานซิสเตอร์ FinFET แบบหลายเกตและแบบ gate-all-around การทำแผนที่ลักษณะการถ่ายโอนตามฟังก์ชันของอุณหภูมิในช่วงอุณหภูมิต่ำมากถึงสูงเต็มรูปแบบ ชุมชนคอมพิวเตอร์ควอนตัมที่กำลังเติบโตใช้ความสามารถที่อุณหภูมิต่ำมากสำหรับการทดสอบโครงสร้างทดสอบคิวบิตตัวนำยิ่งยวด อาร์เรย์ของจุดเชื่อมต่อโจเซฟสัน และอุปกรณ์จุดสัมผัสควอนตัมที่อุณหภูมิพื้นฐานที่เข้าถึงได้ในระดับมิลลิเคลวิน โรงงานผลิตสารกึ่งตัวนำอุตสาหกรรมใช้การกำหนดค่าโพรบ 6 ตัวสำหรับการตรวจสอบการควบคุมกระบวนการของโครงสร้างกลุ่มองค์ประกอบทดสอบบนเวเฟอร์การผลิต ซึ่งการเข้าถึงแบบหลายขั้วต่ออย่างรวดเร็วช่วยเร่งการรวบรวมข้อมูลการควบคุมกระบวนการทางสถิติ นักวิจัยด้านโฟโตนิกส์แบบรวมได้รับประโยชน์จากสภาพแวดล้อมสุญญากาศและการเข้าถึงแบบหลายโพรบสำหรับการจำแนกลักษณะมอดูเลเตอร์ไฟฟ้าแสง อาร์เรย์โฟโตดีเทคเตอร์ และวงจรรวมโฟโตนิกส์-อิเล็กทรอนิกส์ภายใต้สภาวะความร้อนที่ควบคุมได้

สถานีโพรบ ECH400V-MP แต่ละเครื่องผ่านการทดสอบการยอมรับจากโรงงานอย่างครอบคลุมภายใต้ระบบการจัดการคุณภาพที่ได้รับการรับรอง ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 และ ISO 45001:2018 การทดสอบรวมถึงการตรวจสอบความต้านทานหน้าสัมผัสโพรบแต่ละตัว การวัดการแยกช่องสัญญาณต่อช่องสัญญาณ การรับรองกระแสไฟรั่วแบบไตรแอกเชียลในระดับต่ำกว่าพิโกแอมแปร์ การสอบเทียบอุณหภูมิเต็มช่วงพร้อมการตรวจสอบ 18 จุด และการรับรองอัตราการรั่วของห้องสุญญากาศ ระบบที่สมบูรณ์ถูกบรรจุในกล่องอลูมิเนียมอัลลอยด์เสริมความแข็งแรงพร้อมช่องใส่โฟมที่จัดเส้นทางแยกสำหรับตัวปรับโพรบทั้งหกตัว การบรรจุภัณฑ์แบบซีลสุญญากาศป้องกันความชื้น และลังไม้เกรดส่งออกพร้อมตัวบ่งชี้แรงกระแทก การเอียง และความชื้น การจัดส่งมาตรฐานรวมถึงสถานีโพรบ ECH400V-MP พร้อมตัวปรับโพรบหกตัว ตัวควบคุมอุณหภูมิความแม่นยำ ตัวควบคุมการทำความเย็น ถังไนโตรเจนเหลว 10 ลิตร เครื่องทำความเย็นแบบหมุนเวียน ใบอนุญาตซอฟต์แวร์ TNEX ชุดสายเคเบิล BNC แบบไตรแอกเชียลหกชุด ชุดเชื่อมต่อปั๊มสุญญากาศ และส่วนประกอบเชื่อมต่อที่จำเป็นทั้งหมด อุปกรณ์เสริมที่เป็นทางเลือก ได้แก่ รูปทรงปลายโพรบที่ปรับแต่งเอง แขนโพรบความถี่สูงที่รองรับ 40 GHz ตัวกำหนดตำแหน่งโพรบเพิ่มเติมสำหรับการขยายเป็นการกำหนดค่า 8 โพรบ และระบบเติมไนโตรเจนเหลวอัตโนมัติสำหรับการวัดที่อุณหภูมิต่ำมากเป็นเวลานานโดยไม่ต้องดูแล การรับประกันมาตรฐานคือ 12 เดือน พร้อมแผนบริการขยายเวลาที่เป็นทางเลือกและการสนับสนุนแอปพลิเคชันลำดับความสำคัญ