หัวจับแบบให้ความร้อนขนาด 4 นิ้ว ความแม่นยำสูงสำหรับเวเฟอร์สำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์

เครื่องทําความร้อนกระดาษระบายความแม่นยําสูง GoGo เป็นแพลตฟอร์มการประมวลผลทางความร้อนที่ทันสมัย ที่ออกแบบมาสําหรับขั้นตอนที่ต้องการมากที่สุด ในการวิจัยและการผลิตครึ่งขัด Designed to support variable process detection and processing technologies—from deep cryogenic bonding to ALD thin film deposition and SiC epitaxial growth—this versatile Wafer Heater offers an exceptionally broad temperature range from -190°C to 150°Cด้วยระยะตัวอย่างเงินที่มีความมั่นคงสูง และการออกแบบที่เข้ากันได้กับระยะว่าง มันให้สภาพแวดล้อมความร้อนที่แม่นยํา สะอาด และเรียบร้อยที่จําเป็นสําหรับการพัฒนาอุปกรณ์รุ่นใหม่ทําให้มันเป็นเครื่องมือที่จําเป็นสําหรับ R & D และการผลิตขนาดทดลอง.

• ระยะความร้อนที่ไม่มีคู่แข่งสําหรับกระบวนการที่ล้ําหน้า: เครื่องทําความร้อนโอฟเฟอร์นี้ทําให้กระบวนการที่ครอบคลุมความร้อนที่สูงมากถึงอุณหภูมิที่สูงปานกลาง It is uniquely suited for novel applications like low-temperature bonding for 3D integration and provides precise thermal control for sensitive deposition processes such as Atomic Layer Deposition (ALD).

• ความเท่าเทียมกันและความมั่นคงในอุณหภูมิสูงสุด: ประสบความมั่นคงทางอุณหภูมิที่โดดเด่นของ ± 0.1 ° C ทั่วแผ่นเงินทั้ง 4 นิ้วสําคัญสําหรับการฝากหนังแบบเรียบร้อย, อินเตอร์เฟซการผสมผสานที่สามารถผลิตใหม่ได้ และผลิตของอุปกรณ์ที่สูง ไม่ว่าจะเป็นในการวิจัยหรือการผลิตก่อน

• รวดเร็ว, ไซเคิลความร้อนที่ควบคุมได้: ออกแบบเพื่อประสิทธิภาพ, เครื่องทําความร้อนกระดาษนี้ให้ความร้อนอย่างรวดเร็ว (สูงสุด 150 °C / นาที) และการควบคุมการเย็นที่ทํางาน (ผ่านไนโตรเจนเหลวและการเย็นน้ํา),ช่วยให้มีการเปลี่ยนระหว่างขั้นตอนกระบวนการอย่างรวดเร็ว และลดเวลาวงจรโดยรวมในกระบวนการพัฒนา.

• การปรับปรุงความบริสุทธิ์ของกระบวนการด้วยระยะว่าง: ระบบทํางานในสภาพแวดล้อมระยะว่างที่ควบคุมได้ โดยกําจัดการปนเปื้อนและปฏิกิริยาทางเคมีที่ไม่ต้องการนี่คือสิ่งสําคัญสําหรับการเจริญเติบโต Epitaxial ความบริสุทธิ์สูง, การบํารุงผิวที่สะอาด และการบรรลุอินเตอร์เฟซที่น่าเชื่อถือและไร้ออกไซด์ในการใช้งานในการผูก

• การควบคุมที่เชี่ยวชาญและความน่าเชื่อถือที่ได้รับการรับรอง: มีการบูรณาการอย่างสมบูรณ์แบบกับโปรแกรม TNEX ที่มีพลังในการควบคุมสูตรและบันทึกข้อมูลด้วยระบบอัตโนมัติและกระบวนการที่ได้รับการรับรอง 45001, เครื่องทําความร้อนกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษ

เครื่องทําความร้อนวอฟเฟอร์ที่ทันสมัยนี้ถูกออกแบบมาเพื่อเร่งการนวัตกรรมในภาคครึ่งตัวนําของภูมิภาคสําคัญของโลก รวมถึงเอเชียตะวันออกเฉียงใต้, ตะวันออกกลาง, รัสเซีย และแอฟริกามันเป็นทรัพย์สินที่จําเป็นสําหรับสถานที่ผลิตนาโนวิทยาลัย, ห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนาครึ่งประสาทของบริษัท และโรงงานหลอมครึ่งประสาทประกอบที่เน้น MEMS, การบรรจุพัสดุที่ทันสมัย และวัสดุที่มีช่วงความกว้าง เช่น SiC และ GaN

1. เครื่องทําความร้อนกระเป๋าขีดเหล็กนี้ถูกออกแบบมาเพื่อกระบวนการอะไร?
   มันถูกปรับปรุงให้กับกระบวนการที่หลากหลาย รวมถึงการผูกผูกแผ่นวอล์ฟในอุณหภูมิต่ํา (ไครโอเจนิก) การฝังชั้นอะตอม (ALD) การผสมซิลิคอนคาร์บิด (SiC)และการใช้งานใด ๆ ที่ต้องการการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยําในระยะว่าง.

2. ระบบนี้สามารถบูรณาการกับเครื่องมือคลาสเตอร์หรือห้องปฏิบัติการของเราได้หรือไม่
   ใช่ เครื่องทําความร้อนโวฟเฟอร์ถูกออกแบบเป็นระบบย่อยแบบโมดูลเราให้บริการรายละเอียดอัตราเฉพาะเจาะจงของอินเตอร์เฟซและสามารถจัดจําหน่ายป้ายปรับเปลี่ยนที่กําหนดเองเพื่ออํานวยความสะดวกในการบูรณาการต่อเนื่องใน OEM ห้องว่างหรือแพลตฟอร์มเครื่องมือคลาสเตอร์.

3. การทําความเย็นแบบหอมได้อย่างไร และมันมั่นคงขนาดไหน?
   การเย็นแบบไครโอเจนิกถูกนําไปใช้ผ่านระบบไนโตรเจนเหลวแบบปิดวงจรที่ควบคุมโดยเครื่องควบคุมการเย็นที่แม่นยํา ทําให้อุณหภูมิคงที่ถึง -190 °C โดยมีความเปลี่ยนแปลงอย่างน้อยซึ่งเป็นสิ่งจําเป็นสําหรับการผูกพันและการศึกษาวัสดุที่ต่ําสุด.

4. โปรแกรม TNEX ควบคุมอะไร?
   โปรแกรม TNEX ให้คําสั่งที่สมบูรณ์แบบ ทําให้คุณสามารถสร้าง เก็บและทํางานสูตรอุณหภูมิหลายขั้นตอนที่ซับซ้อน ติดตามสถานะของระบบในเวลาจริงและบันทึกข้อมูลกระบวนการทั้งหมดเพื่อการติดตามและวิเคราะห์อย่างเต็มที่.

5. เครื่องทําความร้อนไวเฟอร์ต้องการการดูแลอย่างไร?
   ระบบนี้ถูกออกแบบมาเพื่อการทํางานอย่างแข็งแรง ด้วยการบํารุงรักษาอย่างน้อย สารใช้หลักคือ ไนโตรเจนเหลวสําหรับการเย็นการออกแบบแบบโมดูลทําให้การบริการง่ายของส่วนประกอบหลักถ้าต้องการ.