4 بوصة تشاك ساخن عالية الدقة وافر تشاك ساخن لمعالجة أشباه الموصلات

محرّك الـ (غوجو) للتحديث الحراري، والذي يعدّ أحدث منصة معالجة حرارية، تمّ تصميمه لأكثر الخطوات تطلباً في أبحاث و تصنيع الموصلات. Designed to support variable process detection and processing technologies—from deep cryogenic bonding to ALD thin film deposition and SiC epitaxial growth—this versatile Wafer Heater offers an exceptionally broad temperature range from -190°C to 150°Cمع مستوى استقرارها العالي في مرحلة عينة الفضة وتصميم متوافق مع الفراغ، فإنه يقدم البيئة الحرارية الدقيقة والنظيفة والمتساوية المطلوبة لتطوير الأجهزة القادمة،مما يجعلها أداة أساسية لكل من البحث والتطوير والإنتاج على نطاق تجريبي.

• نطاق حراري لا مثيل له لعمليات القطع: هذا الساخن يسمح لعمليات التشغيل من درجات الحرارة الشديدة إلى درجات الحرارة العالية. It is uniquely suited for novel applications like low-temperature bonding for 3D integration and provides precise thermal control for sensitive deposition processes such as Atomic Layer Deposition (ALD).

• توحد درجة الحرارة العالية والاستقرار: يحقق الاستقرار الحراري الاستثنائي من ± 0.1 °C عبر لوحات الفضة البالغة 4 بوصات.مهمة لتسليم الفيلم، واجهات ربط قابلة للتنفيذ، ونتائج جهاز عالية، سواء في البحث أو في مرحلة ما قبل الإنتاج.

• سريع، قابلة للتحكم في الدورة الحرارية: تم تصميمه للكفاءة، هذا الحرارة الوافر يوفر تسخين سريع (إلى 150°C/min) و التبريد النشط المتحكم به (عن طريق النيتروجين السائل و تبريد المياه) ،تمكين الانتقال السريع بين خطوات العملية وتقليل أوقات الدورة الشاملة في سير العمل التنموي.

• الفراغ المُحسّن لتنقية العملية: يعمل النظام في بيئة فراغ خاضعة للسيطرة، مما يزيل التلوث والتفاعلات الكيميائية غير المرغوب فيها.هذا أمر رئيسي للنمو البصري عالي النقاء، معالجة سطح نظيفة، وتحقيق موثوق بها، واجهات خالية من الأكسيد في تطبيقات الربط.

• التحكم الذكي والموثوقية المعتمدة: متكاملة بالكامل مع برنامج TNEX القوي لتحكم وصفة آلية وتسجيل البيانات.والعمليات المعتمدة 45001، هذا المحرّك الموجّل مبني على الموثوقية والسلامة والأداء المتكرر في بيئات شبه موصلات حرجة.

تم تصميم هذا الحرارة المتقدمة لتسريع الابتكار في قطاعات الموصلات شبه الصناعية من المناطق العالمية الرئيسية، بما في ذلك جنوب شرق آسيا، والشرق الأوسط، وروسيا، وأفريقيا.إنه أصل لا غنى عنه لمرافق التصنيع النانوي للجامعات، مختبرات البحث والتطوير في مجال أشباه الموصلات، ومصانع أشباه الموصلات المركبة التي تركز على MEMS، والتغليف المتقدم،

1. ما هي العمليات التي تم تصميم هذا السائل الحراري خصيصًا لها؟
   يتم تحسينه لمجموعة واسعة من العمليات بما في ذلك الارتباط منخفضة درجة الحرارة (الكريوجينيك) ،و أي تطبيق يتطلب تحكم دقيق في درجة الحرارة في فراغ.

2. هل يمكن دمج هذا النظام في غرفة أدوات أو عمليات المجموعة الحالية؟
   أجل، تم تصميم جهاز التسخين كنظام فرعي وحداتينحن نقدم مواصفات واجهة مفصلة ويمكن أن نقدم لوحات مخصصة للتكيف لتسهيل الاندماج السلس في غرف الفراغ OEM أو منصات أدوات المجموعة.

3. كيف تم تحقيق التبريد الكريوجيني، وكم هي مستقرة؟
   يتم تسليم التبريد الاصطناعي عن طريق نظام النيتروجين السائل المغلق المدار بواسطة جهاز تحكم دقيق للتبريد، مما يتيح درجات حرارة مستقرة تصل إلى -190 درجة مئوية مع تقليل التقلب،والذي هو أساسي لدراسات الارتباط والمواد في انخفاضات شديدة.

4. ما الذي تسيطر عليه برمجيات "تنكس"؟
   برنامج "تنكس" يوفر قيادة كاملة، يسمح لك بإنشاء وتخزين وتشغيل وصفات حرارة متعددة الخطوات المعقدةوتسجيل جميع بيانات العملية للتتبع الكامل والتحليل.

5. ما هي الصيانة التي يتطلبها جهاز التسخين؟
   تم تصميم النظام لتشغيل قوي مع الحد الأدنى من الصيانةيسمح التصميم الوحدوي لسهولة الخدمة من المكونات الرئيسية إذا كان مطلوبا.