4-calowy podgrzewany uchwyt o wysokiej precyzji do obróbki półprzewodników

GoGo High-Precision Wafer Heater jest najnowocześniejszą platformą przetwarzania cieplnego zaprojektowaną dla najbardziej wymagających etapów badań i produkcji półprzewodników. Designed to support variable process detection and processing technologies—from deep cryogenic bonding to ALD thin film deposition and SiC epitaxial growth—this versatile Wafer Heater offers an exceptionally broad temperature range from -190°C to 150°CDzięki stabilnej fazie próbki srebra i kompatybilnej z próżnią konstrukcji zapewnia precyzyjne, czyste i jednolite środowisko termiczne wymagane do opracowania urządzenia nowej generacji.tworząc go niezbędnym narzędziem zarówno w zakresie B+R, jak i produkcji pilotażowej.

• Bezkonkurencyjny zakres termiczny dla zaawansowanych procesów: Ten grzejnik płytkowy umożliwia procesy obejmujące ekstremalnie kryogenne i umiarkowanie wysokie temperatury. It is uniquely suited for novel applications like low-temperature bonding for 3D integration and provides precise thermal control for sensitive deposition processes such as Atomic Layer Deposition (ALD).

• Wyższa jednolitość temperatury i stabilność: osiąga wyjątkową stabilność termiczną ± 0,1 °C na całej 4-calowej płytce srebrnej.krytyczne dla jednolitego osadzenia folii, odtwarzalnych interfejsów łączących i wysokiej wydajności urządzenia, zarówno w badaniach, jak i w preprodukcji.

• Szybki, kontrolowany cykl cieplny: Zaprojektowany z myślą o wydajności, ten podgrzewacz płytek zapewnia szybkie ogrzewanie (do 150°C/min) i kontrolowane chłodzenie aktywne (przez ciekły azot i chłodzenie wodą),umożliwienie szybkiego przejścia między etapami procesu i skrócenie ogólnych czasów cyklu w przepływach pracy w zakresie rozwoju.

• Optymalizacja próżniowa dla czystości procesu: system działa w kontrolowanym środowisku próżniowym, eliminując zanieczyszczenia i niepożądane reakcje chemiczne.To jest kluczowe dla wysokiej czystości wzrostu epitaksyjnego, czystą obróbkę powierzchni i osiągnięcie niezawodnych, beztlenkowych interfejsów w zastosowaniach klejujących.

• Inteligentna kontrola i certyfikowana niezawodność: w pełni zintegrowane z potężnym oprogramowaniem TNEX do automatycznej kontroli receptury i rejestrowania danych.i certyfikowanych procesów 45001, ten podgrzewacz wafelów jest zbudowany z myślą o niezawodności, bezpieczeństwie i powtarzalnej wydajności w krytycznych środowiskach półprzewodnikowych.

Ten zaawansowany grzejnik waferów został zaprojektowany w celu przyspieszenia innowacji w sektorach półprzewodników w kluczowych regionach świata, w tym w Azji Południowo-Wschodniej, na Bliskim Wschodzie, w Rosji i w Afryce.Jest niezbędnym atutem dla uniwersyteckich zakładów nanofabrykacji, korporacyjne laboratoria badawczo-rozwojowe półprzewodników i odlewni półprzewodników złożonych koncentrujących się na MEMS, zaawansowanych opakowaniach i materiałach szerokopasmowych, takich jak SiC i GaN.

1. Do jakich procesów jest specjalnie zaprojektowany ten podgrzewacz?
   Jest zoptymalizowany do szerokiego zakresu procesów, w tym wiązania płytek o niskiej temperaturze (kryogeniczne), osadzenia warstwy atomowej (ALD), epitaxy węglanu krzemowego (SiC), wygrzewania,i wszelkie zastosowania wymagające precyzyjnej kontroli temperatury w próżni.

2. Czy system ten może być zintegrowany z naszym istniejącym narzędziem klastrowym lub komorą procesową?
   Podgrzewacz jest zaprojektowany jako podsystem modułowy.Zapewniamy szczegółowe specyfikacje interfejsu i możemy dostarczyć niestandardowe płyty adapterów, aby ułatwić bezproblemową integrację z OEM komór próżniowych lub platformy narzędzi klastra.

3. W jaki sposób osiąga się chłodzenie kryogeniczne i jak jest ono stabilne?
   Kryogeniczne chłodzenie odbywa się za pośrednictwem układu ciekłego azotu o zamkniętym obiegu sterowanego przez precyzyjny sterownik chłodzenia, umożliwiający stabilną temperaturę do -190°C przy minimalnych wahaniach,który jest niezbędny do łączenia i badań materiałów przy ekstremalnie niskich temperaturach.

4. Co kontroluje oprogramowanie TNEX?
   Oprogramowanie TNEX zapewnia pełne polecenia, pozwalające na tworzenie, przechowywanie i uruchamianie złożonych wieloetapowych przepisów temperatury, monitorowanie stanu systemu w czasie rzeczywistym,i rejestrować wszystkie dane procesowe w celu pełnej identyfikowalności i analizy.

5. Jakiego rodzaju konserwację wymaga podgrzewacz?
   System został zaprojektowany do stabilnej pracy przy minimalnej konserwacji.Modułowa konstrukcja umożliwia łatwą obsługę kluczowych komponentów, jeśli kiedykolwiek będzie to konieczne.