Estação de Sonda a Vácuo Multi-Sonda Configuração de 6 Sondas -190°C a 400°C Estabilidade ±0,1°C Teste de Wafer BNC Triaxial

A Estação de Sonda a Vácuo Multi-Sonda GoGo ECH400V-MP redefine a flexibilidade na caracterização de dispositivos elétricos com uma configuração abrangente de 6 sondas. Onde estações de sonda padrão de 4 fios limitam as topologias de medição, a ECH400V-MP permite acesso simultâneo a múltiplos terminais, essencial para medições de efeito Hall, caracterização de transistores multi-gate, testes de osciladores em anel e estruturas de dispositivos complexas que requerem contatos de fonte, dreno, gate, corpo e substrato simultaneamente. Todas as seis sondas coaxiais de carboneto de tungstênio banhadas a ouro apresentam posicionamento manual independente de micrômetro XYZ com curso de ±6mm, dando aos pesquisadores total liberdade para configurar arranjos de sonda para qualquer geometria de dispositivo.

Operando dentro de uma câmara de vácuo selada em toda a faixa de temperatura de -190°C a 400°C, esta Estação de Sonda fornece o controle ambiental essencial para caracterizar dispositivos sensíveis à temperatura sem interferência atmosférica. O sistema de resfriamento com nitrogênio líquido atinge operação criogênica estável para medições de transporte quântico, enquanto o elemento de aquecimento resistivo permite a caracterização térmica rápida do desempenho do dispositivo em um intervalo de quase 600°C. A estabilidade de ±0.1°C garante que assinaturas elétricas sutis dependentes da temperatura sejam capturadas com a precisão necessária para publicação em periódicos de primeira linha.

Cada um dos seis canais de sonda termina em uma porta BNC triaxial dedicada, fornecendo caminhos de sinal individualmente protegidos que minimizam a diafonia entre os canais de medição. Essa arquitetura é particularmente valiosa para medições de barra Hall, onde medições simultâneas de tensão e corrente em contatos adjacentes exigem isolamento excepcional entre canais. O conjunto de software TNEX suporta sequenciamento automatizado de medições multicanal, permitindo fluxos de trabalho eficientes de triagem em nível de wafer, onde múltiplos dispositivos devem ser caracterizados sob condições térmicas idênticas.

• Configuração Independente de 6 Sondas: Seis sondas coaxiais de carboneto de tungstênio banhadas a ouro totalmente independentes com posicionamento XYZ de micrômetro dedicado fornecem a flexibilidade para caracterizar dispositivos complexos de múltiplos terminais, incluindo barras Hall, transistores multi-gate e estruturas de teste integradas.
• Faixa Completa Criogênica a Alta Temperatura: Resfriamento com nitrogênio líquido a -190°C combinado com aquecimento resistivo a 400°C permite a caracterização completa dependente da temperatura em um intervalo operacional de 590°C dentro de um único ambiente de vácuo.
• Canais Triaxiais Individualmente Protegidos: Seis portas BNC triaxiais dedicadas com proteção por canal minimizam a diafonia e as correntes de fuga, essenciais para medições simultâneas precisas em terminais de dispositivo adjacentes.
• Proteção do Ambiente de Vácuo: Câmara hermeticamente selada evita condensação durante a operação criogênica e oxidação durante medições de alta temperatura, permitindo a determinação de propriedades intrínsecas verdadeiras do dispositivo.
• Pronto para Triagem em Nível de Wafer: A plataforma de amostra de 23mm x 23mm e a flexibilidade de seis sondas suportam a caracterização de múltiplos dies sem remontagem da amostra, melhorando drasticamente o rendimento para fluxos de trabalho de triagem de dispositivos em nível de wafer.
• Sequenciamento Automatizado Multicanal TNEX: Software integrado permite sequências de medição programáveis em todos os seis canais sincronizados com perfis de temperatura, automatizando protocolos complexos de caracterização de múltiplos terminais.

A Estação de Sonda ECH400V-MP aborda os desafios de medição de grupos de pesquisa e laboratórios industriais que trabalham com dispositivos complexos de múltiplos terminais. Físicos da matéria condensada dependem da configuração de 6 sondas para medições de efeito Hall em novos materiais 2D, isolantes topológicos e sistemas de Hall quântico, onde medições simultâneas de tensão longitudinal e transversal exigem múltiplos contatos de sonda independentes. Pesquisadores de dispositivos semicondutores usam a capacidade multi-sonda para caracterizar estruturas de transistores FinFET multi-gate e gate-all-around, mapeando características de transferência como funções de temperatura em toda a faixa criogênica a elevada. A emergente comunidade de computação quântica emprega a capacidade criogênica para testar estruturas de teste de qubit supercondutor, arrays de junção Josephson e dispositivos de contato de ponto quântico em temperaturas base acessíveis a milikelvin. Fundições semicondutoras industriais utilizam a configuração de 6 sondas para monitoramento de controle de processo de estruturas de grupo de elementos de teste em wafers de produção, onde o acesso rápido a múltiplos terminais acelera a coleta de dados de controle estatístico de processo. Pesquisadores de fotônica integrada se beneficiam do ambiente de vácuo e do acesso multi-sonda para caracterizar moduladores eletro-ópticos, arrays de fotodetectores e circuitos integrados fotônicos-eletrônicos híbridos sob condições térmicas controladas.

Cada Estação de Sonda ECH400V-MP passa por testes de aceitação de fábrica abrangentes sob sistemas de gestão de qualidade certificados ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 e ISO 45001:2018. Os testes incluem verificação individual da resistência de contato da sonda, medição de isolamento canal a canal, certificação de corrente de fuga triaxial para níveis sub-picoampere, calibração de temperatura de faixa completa com verificação de 18 pontos e certificação da taxa de vazamento da câmara de vácuo. O sistema completo é embalado em um estojo de voo reforçado de liga de alumínio com compartimentos de espuma roteados individualmente para todos os seis manipuladores de sonda, embalagem com barreira de umidade selada a vácuo e uma caixa de madeira de grau de exportação com indicadores integrados de choque, inclinação e umidade. A entrega padrão inclui a estação de sonda ECH400V-MP com seis manipuladores de sonda, controlador de temperatura de precisão, controlador de resfriamento, Dewar de nitrogênio líquido de 10 litros, chiller de recirculação, licença de software TNEX, seis conjuntos de cabos BNC triaxiais, kit de conexão de bomba de vácuo e todos os componentes de interconexão necessários. Acessórios opcionais incluem geometrias de ponta de sonda personalizadas, braços de sonda de alta frequência classificados para 40 GHz, posicionadores de sonda adicionais para expansão para configuração de 8 sondas e sistemas automatizados de reabastecimento de nitrogênio líquido para medições criogênicas de longa duração sem supervisão. A garantia padrão é de 12 meses com planos de serviço estendidos opcionais e suporte de aplicação prioritário disponíveis.