Многопробная вакуумная станция 6-пробная конфигурация -190°C до 400°C ±0,1°C Стабильность Триаксиальное испытание уровня вафры BNC

GoGo ECH400V-MP Multi-Probe Vacuum Probe Station переопределяет гибкость в характеристике электрических устройств с комплексной конфигурацией из шести зондов.Если стандартные станции с четырьмя зондами ограничивают топологии измерений, ECH400V-MP обеспечивает одновременный доступ к нескольким терминалам, необходимым для измерений эффекта Холла, характеристики транзисторов с несколькими воротами, испытаний кольцевых осцилляторов,и сложные устройственные структуры, требующие источникаВсе шесть позолоченных коаксиальных зондов из карбида вольфрама имеют независимое ручное позиционирование микрометра XYZ с пробегом ± 6 мм,предоставляя исследователям полную свободу настройки устройств зондов для любой геометрии устройства.

Работающие в герметичной вакуумной камере в полном диапазоне температур от -190°C до 400°C,Эта зондирующая станция обеспечивает контроль окружающей среды, необходимый для характеристики чувствительных к температуре устройств без атмосферных помех.Система охлаждения жидким азотом обеспечивает стабильную криогенную работу для измерений квантового транспорта.в то время как резистивный нагревательный элемент позволяет быстрое термическое характеристику производительности устройства на протяжении почти 600 ° CСтабильность ± 0,1°C гарантирует, что тонкие электрические сигнатуры, зависящие от температуры, будут захвачены с точностью, необходимой для публикации в журналах высшего уровня.

Каждый из шести каналов зондов заканчивается в специальном триаксиальном порту BNC, обеспечивая индивидуально охраняемые сигнальные пути, которые минимизируют пересечение между каналами измерения.Эта архитектура особенно полезна для измерений стойки Холла, где одновременные измерения напряжения и тока на соседних контактах требуют исключительной изоляции от канала к каналуПрограммный пакет TNEX поддерживает автоматизированное многоканальное последовательное измерение,обеспечивает эффективные рабочие процессы скрининга на уровне пластины, когда несколько устройств должны характеризоваться в одинаковых тепловых условиях;.

• Конфигурация 6-Зонды Независимая:Шесть полностью независимых позолоченных коаксиальных зондов из карбида вольфрама с специальным микрометром XYZ обеспечивают гибкость для характеристики сложных многоконтурных устройств, включая стойки Холла,Транзисторы с несколькими воротами, и интегрированные конструкции испытаний.
• Полный диапазон от криогенной до высокой температуры:Охлаждение жидким азотом до -190°C в сочетании с сопротивляющим нагревом до 400°C позволяет полностью характеризовать зависимость от температуры на протяжении 590°C в одной вакуумной среде.
• Индивидуально охраняемые триаксиальные каналы:Шесть выделенных триаксиальных портов BNC с защитой по каналу минимизируют переговорный и утечный токи, необходимые для точных одновременных измерений на прилегающих терминалах устройств.
• Защита окружающей среды под вакуумом:Герметически запечатанная камера предотвращает конденсацию во время криогенной работы и окисление во время измерений при высоких температурах, что позволяет определить истинные свойства устройства.
• Подготовка к скринингу на уровне пластины:Платформа проб размером 23 мм х 23 мм и гибкость шести зондов поддерживают многомерную характеристику без перемонтирования образца, что значительно улучшает производительность для рабочих процессов скрининга устройств на уровне пластинок.
• TNEX Автоматизированная многоканальная последовательность:Интегрированное программное обеспечение позволяет программировать последовательности измерений по всем шести каналам, синхронизированные с температурными профилями, автоматизируя сложные протоколы характеристики с несколькими терминалами.

Станция зондирования ECH400V-MP решает задачи измерений исследовательских групп и промышленных лабораторий, работающих со сложными многоконтурными устройствами.Физики конденсированной материи полагаются на конфигурацию 6-проб для измерений эффекта Холла на новых 2D-материалах, топологические изоляторы и квантовые системы Холла, где одновременные продольные и поперечные измерения напряжения требуют нескольких независимых контактов зондов.Исследователи полупроводниковых устройств используют возможности мульти-зондов для характеристики мульти-gate FinFET и gate-all-around транзисторных структур, отображая характеристики переноса как функции температуры в полном диапазоне от криогенного до повышенного.Возникающее квантовое вычислительное сообщество использует криогенные возможности для тестирования сверхпроводящих кубитных тестовых структур, Джозефсоновские стыковочные массивы и квантовые контактные устройства с базовыми температурами, доступными в милликельвинах.Промышленные литейные заводы полупроводников используют конфигурацию с 6-ю зондами для контроля процесса мониторинга структур группы испытуемых элементов на производственных пластинах, где быстрый доступ с несколькими терминалами ускоряет сбор данных статистического управления процессом.Исследователи интегрированной фотоники пользуются вакуумной средой и доступом к многопробам для характеристики электрооптических модуляторов, фотодетекторные массивы и гибридные фотоно-электронные интегральные схемы в контролируемых тепловых условиях.

Каждая зондирующая станция ECH400V-MP подвергается комплексному испытанию на заводской приемке в соответствии с ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, и сертифицированные системы менеджмента качества по стандарту ISO 45001:2018. Испытания включают проверку индивидуального сопротивления контакта зонды, измерение изоляции канала на канал,сертификация триаксиального тока утечки на уровни подпикоампера, калибровка температуры полного диапазона с 18-точечной проверкой и сертификация показателя утечки вакуумной камеры.Полная система упакована в укрепленный алюминиевый сплав летательный корпус с индивидуально направленных пеновых отсеков для всех шести манипуляторов зонды, вакуумно-запечатанная влагозащитная упаковка и деревянный ящик экспортного класса с интегрированными индикаторами удара, наклона и влажности.Стандартная поставка включает станцию зондирования ECH400V-MP с шестью манипуляторами зондирования, точный контроллер температуры, контроллер охлаждения, 10-литровый жидкий азот Dewar, циркулирующий охладитель, лицензия на программное обеспечение TNEX, шесть трехосных кабелей BNC, комплект подключения вакуумного насоса,и все необходимые компоненты взаимосвязиДополнительные аксессуары включают в себя специальную геометрию кончиков зондов, высокочастотные зонтовые руки, рассчитанные на 40 ГГц, дополнительные позиционеры зондов для расширения до конфигурации 8 зондов,и автоматизированные системы пополнения жидким азотом для длительных криогенных измерений без наблюденияСтандартная гарантия составляет 12 месяцев с дополнительными расширенными сервисными планами и поддержкой приоритетов.