Multi-Sonde Vakuum-Sonde Station 6-Sonde Konfiguration -190°C bis 400°C ± 0,1°C Stabilität Triaxal BNC Wafer-Level-Prüfung

Die GoGo ECH400V-MP Multi-Probe Vacuum Probe Station definiert mit einer umfassenden 6-Sonde-Konfiguration die Flexibilität in der Charakterisierung elektrischer Geräte neu.Wenn Standardstationen mit 4 Sonden die Messtopologien begrenzen, ermöglicht der ECH400V-MP einen gleichzeitigen Zugang zu mehreren Endgeräten, der für Messungen des Hall-Effekts, die Charakterisierung von Transistoren mit mehreren Toren, die Prüfung von Ring-Oszillatoren unerlässlich ist,und komplexe Gerätestrukturen, die eineAlle sechs vergoldeten coaxialen Sonden aus Wolframkarbid verfügen über eine unabhängige manuelle Mikrometer-XYZ-Positionierung mit ±6 mm Verlagerung.so dass die Forscher vollkommen frei sind, Sondenanordnungen für jede Gerätegeometrie zu konfigurieren.

in einer geschlossenen Vakuumkammer im gesamten Temperaturbereich von -190 °C bis 400 °C betrieben werden,Diese Sondenstation bietet die Umweltkontrolle, die für die Charakterisierung von temperaturempfindlichen Geräten ohne atmosphärische Störungen unerlässlich ist.Das flüssige Stickstoffkühlsystem ermöglicht einen stabilen kryogenen Betrieb für Quantentransportmessungen.Während das widerstandsfähige Heizungselement eine schnelle thermische Charakterisierung der Leistung des Geräts über einen Bereich von fast 600 °C ermöglichtDie ±0,1°C-Stabilität sorgt dafür, daß subtile temperaturabhängige elektrische Signaturen mit der für die Veröffentlichung in erstklassigen Zeitschriften erforderlichen Präzision erfasst werden.

Jeder der sechs Sondenkanäle endet in einem dedizierten triaxialen BNC-Port und bietet individuell geschützte Signalpfade, die den Überspann zwischen den Messkanälen minimieren.Diese Architektur ist besonders wertvoll für Hall-Bar-Messungen, bei denen gleichzeitige Spannungs- und Strommessungen an benachbarten Kontakten eine außergewöhnliche Kanal-zu-Kanal-Isolation erfordernDie TNEX-Software-Suite unterstützt die automatisierte Mehrkanal-Messsequenzierung.Ermöglichen effizienter Screening-Arbeitsabläufe auf Waferebene, wenn mehrere Geräte unter identischen thermischen Bedingungen charakterisiert werden müssen.

• 6-Sonde unabhängige Konfiguration:Sechs vollständig unabhängige, vergoldete coaxial-Sonden aus Wolframkarbid mit spezieller Mikrometer-XYZ-Positionierung bieten die Flexibilität zur Charakterisierung komplexer Multi-Terminal-Geräte, einschließlich Hallbars,mit einer Leistung von mehr als 50 W, und integrierten Prüfstrukturen.
• Vollständiger Kryogen- bis Hochtemperaturbereich:Flüssiges Stickstoffkühlen auf -190°C in Kombination mit Widerstandsheizung auf 400°C ermöglicht eine vollständige temperaturabhängige Charakterisierung über eine Betriebsdauer von 590°C innerhalb einer einzigen Vakuumumgebung.
• Individuell geschützte Triaxialkanäle:Sechs dedizierte triaxiale BNC-Ports mit Per-Channel-Schutz minimieren Übersprach- und Leckströme, die für genaue gleichzeitige Messungen an angrenzenden Geräteterminalen unerlässlich sind.
• Schutz der Vakuumumwelt:Hermetisch versiegelte Kammer verhindert Kondensation während des kryogenen Betriebs und Oxidation bei hohen Temperaturmessungen und ermöglicht eine echte Bestimmung der Eigenschaften des Geräts.
• Wafer-Level-Screening bereit:Die 23 mm x 23 mm große Probenplattform und die Flexibilität der sechs Proben unterstützen die Multi-Die-Charakterisierung ohne erneute Probenmontage und verbessern so den Durchsatz für das Screening von Geräten auf Waferebene erheblich.
• TNEX-automatische Mehrkanalsequenzierung:Die integrierte Software ermöglicht die Programmierung von Messsequenzen über alle sechs Kanäle hinweg, die mit Temperaturprofilen synchronisiert sind, und automatisiert komplexe Multi-Terminal-Charakterisierungsprotokolle.

Die ECH400V-MP-Sonde Station befasst sich mit den Messproben von Forschungsgruppen und Industrielabors, die mit komplexen Mehrterminalgeräten arbeiten.Kondensierte Materie Physiker verlassen sich auf die 6-Sonde Konfiguration für Hall-Effekt Messungen auf neuartige 2D-Materialien, topologische Isolatoren und Quanten Hall-Systeme, bei denen gleichzeitige Längs- und Querspannungsmessungen mehrere unabhängige Sondenkontakte erfordern.Halbleitergeräteforscher nutzen die Multi-Sonde-Fähigkeit zur Charakterisierung von Multi-Gate FinFET und Gate-All-Around-Transistorstrukturen, wobei die Übertragungsmerkmale als Temperaturfunktionen über den gesamten Bereich von Kryogen bis Erhöhung abgebildet werden.Die aufstrebende Quantencomputing-Community nutzt die kryogene Fähigkeit zur Prüfung supraleitender Qubit-Teststrukturen, Josephson-Kopplungsarrays und Quantenpunktkontaktgeräte bei millikelvin-zugänglichen Grundtemperaturen.Industriehalbleitergießereien verwenden die 6-Sonde-Konfiguration zur Prozesskontrolle der Prüfelementgruppenstrukturen auf Produktionswafern, bei dem der schnelle Multi-Terminal-Zugriff die Datenerhebung zur statistischen Prozesssteuerung beschleunigt.Integrierte Photoniker profitieren von der Vakuumumgebung und dem Multi-Sonde-Zugriff für die Charakterisierung elektrooptischer Modulatoren, Fotodetektoranlagen und hybride photonisch-elektronische integrierte Schaltungen unter kontrollierten thermischen Bedingungen.

Jede ECH400V-MP-Sonde Station wird einer umfassenden Fabrikprüfungsprüfung nach ISO 9001 unterzogen:2015, ISO 14001:2015, und ISO 45001:2018 zertifizierte Qualitätsmanagementsysteme.Zertifizierung der Triaxialleckageströmung auf Subpicoamp-Werte, Temperaturkalibrierung im vollen Bereich mit 18-Punkte-Verifizierung und Zertifizierung der Leckrate der Vakuumkammer.Das komplette System ist in einem verstärkten Fluggehäuse aus Aluminiumlegierung mit individuell geleiteten Schaumstofffächern für alle sechs Sondenmanipulatoren verpackt, Vakuumdichte Feuchtigkeitsschutzverpackung und eine Holzkiste für den Export mit integrierten Stoß-, Neigungs- und Feuchtigkeitsindikatoren.Standardlieferung umfasst die Sondenstation ECH400V-MP mit sechs Sondenmanipulatoren, Präzisionstemperaturregler, Kühlregler, 10-Liter flüssiger Stickstoff Dewar, Kreislaufkühlgerät, TNEX-Softwarelizenz, sechs dreiachsige BNC-Kabelbaugruppen, Vakuumpumpenanschluss,und alle erforderlichen VerbindungsbauteileOptionales Zubehör umfasst maßgeschneiderte Sondenspitzengeometrien, Hochfrequenz-Sondenarme mit 40 GHz, zusätzliche Sondenpositionierer für die Erweiterung auf 8-Sonden-Konfiguration,und automatisierte Flüssigstickstoffnachfüllsysteme für langfristige unbegleitete kryogene MessungenDie Standardgarantie beträgt 12 Monate mit optionalen erweiterten Serviceplänen und vorrangigen Anwendungsunterstützung.