Çoklu Prob Vakum Prob İstasyonu 6-Prob Konfigürasyonu -190°C ila 400°C ±0.1°C Stabilite Triaksiyel BNC Wafer Seviyesi Testi

GoGo ECH400V-MP Multi-Probe Vacuum Probe Station, kapsamlı bir 6 prob konfigürasyonu ile elektrikli cihaz karakterize etme esnekliğini yeniden tanımlar.Standart 4 prob istasyonlarının ölçüm topolojilerini sınırladığı durumlarda, ECH400V-MP, Hall etkisi ölçümleri, çoklu kapı transistörü karakterifikasyonu, halka osilatör testi için gerekli olan eşzamanlı çok terminal erişimini sağlar.ve kaynak gerektiren karmaşık cihaz yapıları, boşaltma, kapı, vücut ve alt katman temasları eşzamanlı olarak. tüm altı altın kaplama volfram karbid koaksiyel problar ± 6mm yol ile bağımsız manuel mikrometre XYZ konumlandırma özelliğine sahiptir,Araştırmacılara herhangi bir cihaz geometrisine göre sonda düzenlemelerini yapılandırma konusunda tam özgürlük sağlar..

Tüm -190°C ila 400°C sıcaklık aralığında mühürlü bir vakum odasında çalışmak,Bu prob istasyonu atmosferik müdahale olmadan sıcaklığa duyarlı cihazları karakterize etmek için gerekli çevresel kontrolü sağlar.Sıvı nitrojen soğutma sistemi, kuantum taşıma ölçümleri için istikrarlı kriyojenik işlevi sağlar.Resif ısıtma elementi, cihazın performansının yaklaşık 600 ° C aralığında hızlı bir şekilde termal karakterize edilmesini sağlar.± 0,1°C'lik istikrar, ince sıcaklığa bağlı elektrikli imzaların en üst düzey dergilerde yayınlanmak için gerekli hassasiyetle yakalanmasını sağlar.

Altı sonda kanalının her biri, ölçüm kanalları arasındaki çapraz konuşmayı en aza indirgenen bireysel olarak korunan sinyal yolları sağlayan özel bir üç eksenli BNC bağlantı noktasında sona eriyor.Bu mimari, aynı anda bulunan bağlantılarda voltaj ve akım ölçümlerinin olağanüstü bir kanaldan kanala izole edilmesini gerektirdiği Hall çubuğu ölçümleri için özellikle değerlidir.. TNEX yazılım paketi otomatik çok kanallı ölçüm sıralamasını destekler.Aynı termal koşullar altında birden fazla cihazın karakterize edilmesi gerektiğinde, wafer düzeyinde verimli tarama iş akışlarını mümkün kılan.

• 6-Sonda Bağımsız Yapılandırması:Tamamen bağımsız altı altın kaplama volfram karbid koaksiyel probu, Hall çubukları da dahil olmak üzere karmaşık çok uçlu cihazları karakterize etmek için esneklik sağlar.çok kapalı transistörler, ve entegre test yapıları.
• Tam kriyojenik-yüksek sıcaklık aralığı:Sıvı nitrojen soğutması -190 °C'ye kadar 400 °C'ye kadar dirençli ısıtma ile birleştirildiğinde, tek bir vakum ortamında 590 °C'lik bir çalışma süresinde tam sıcaklığa bağlı karakterizasyona olanak tanır.
• Bireysel olarak korunan üç eksenli kanallar:Kanal başına koruma ile altı özel üç eksenli BNC portu, bitişik cihaz terminallerinde doğru eşzamanlı ölçümler için gerekli olan çapraz ses ve sızıntı akımlarını en aza indirir.
• Vakum ortamı koruması:Hermetik olarak mühürlenmiş oda, kriyojenik işlem sırasında yoğunlaşmayı ve yüksek sıcaklık ölçümleri sırasında oksidasyonu engeller ve gerçek içsel cihaz özelliklerinin belirlenmesini sağlar.
• Wafer düzeyinde tarama hazır:23 mm x 23 mm numune platformu ve altı sondalı esneklik, numune yeniden montajı olmadan çoklu ölçekli karakterize etmeyi destekler, bu da wafer düzeyinde cihaz tarama iş akışları için verimi önemli ölçüde artırır.
• TNEX Otomatik Çok Kanallı Sequencing:Entegre yazılım, karmaşık multi-terminal karakterizasyon protokollerini otomatikleştiren, sıcaklık profilleri ile senkronize edilen altı kanal boyunca programlanabilir ölçüm dizilerini sağlar.

ECH400V-MP Sonde İstasyonu, karmaşık çok uçlu cihazlarla çalışan araştırma gruplarının ve endüstriyel laboratuvarların ölçüm zorluklarını ele alıyor.Kondense madde fizikçileri, yeni 2 boyutlu malzemelerde Hall etkisi ölçümleri için 6 sondalı konfigürasyona güveniyorlar, topolojik izolatörler ve kuantum Hall sistemleri, aynı anda uzunluksal ve çapraz voltaj ölçümlerinin birden fazla bağımsız prob temasını gerektirdiği yerler.Yarım iletken cihaz araştırmacıları, çoklu kapı FinFET'i ve kapı çevresindeki transistör yapılarını karakterize etmek için çoklu sonda yeteneğini kullanır, tüm kriyojenik ve yükseltilmiş aralığındaki sıcaklık fonksiyonları olarak transfer özelliklerini haritalandırır.Gelişen kuantum bilişim topluluğu, süper iletkenlik kübit test yapılarını test etmek için kriyojenik yeteneği kullanıyor., Josephson bağlantı dizileri ve millikelvin erişilebilir baz sıcaklıklarında kuantum nokta temas cihazları.Endüstriyel yarı iletken döküm tesisleri, üretim levhaları üzerindeki test eleman grubu yapılarının süreç kontrolünün izlenmesi için 6 prob konfigürasyonunu kullanır.Hızlı çok uçlu erişim, istatistiksel süreç kontrolü veri toplamasını hızlandırır.Entegre fotonik araştırmacıları, elektro-optik modülatörleri karakterize etmek için vakum ortamından ve çoklu sonda erişiminden yararlanmaktadır, fotodetektor dizileri ve kontrol edilen termal koşullar altında hibrit fotonik-elektronik bütünleşik devreler.

Her bir ECH400V-MP Sonde İstasyonu, ISO 9001 uyarınca kapsamlı fabrika kabul sınavlarına tabi tutulur:2015ISO 14001:2015, ve ISO 45001:2018 sertifikalı kalite yönetim sistemleri. Sınavlar, bireysel prob temas direnci doğrulama, kanaldan kanala izole ölçüm,Üç eksenli sızıntı akımı, alt picoamp seviyelerine doğru sertifikalandırılır., 18 nokta doğrulama ile tam menzilli sıcaklık kalibrasyonu ve vakum odası sızıntı oranı sertifikasyonu.Tam sistem altı prob manipülatörleri için bireysel olarak yönlendirilmiş köpük bölmeleri ile güçlendirilmiş alüminyum alaşım uçuş kafesinde paketlenmiştir, vakumlı nem barikatı ambalajı ve entegre şok, eğim ve nem göstergelerine sahip ihracat sınıfı bir ahşap kasa.Standart teslimat, altı sonda manipülatörü ile ECH400V-MP sonda istasyonunu içerir., hassas sıcaklık kontrolörü, soğutma kontrolörü, 10 litrelik sıvı azot Dewar, geri döngü soğutucu, TNEX yazılım lisansı, altı üç eksenli BNC kablosu, vakum pompası bağlantı kiti,ve tüm gerekli bağlantı bileşenleriSeçmeli aksesuarlar arasında özel sond ucun geometrileri, 40 GHz'e kadar yükselen yüksek frekanslı sond kolları, 8 sond konfigürasyonuna genişletmek için ek sond konumlandırıcıları,ve bakımsız uzun süreli kriyojenik ölçümler için otomatik sıvı nitrojen dolgu sistemleriStandart garanti 12 aydır ve isteğe bağlı olarak genişletilmiş servis planları ve öncelikli uygulama desteği mevcuttur.