Multi-sonda Stazione di sonda a vuoto 6-sonda Configurazione da -190°C a 400°C ±0,1°C Stabilità Prova a livello di wafer BNC triassiale

La GoGo ECH400V-MP Multi-Probe Vacuum Probe Station ridefinisce la flessibilità nella caratterizzazione dei dispositivi elettrici con una configurazione completa di 6 sonde.Quando le stazioni standard a 4 sonde limitano le topologie di misurazione, l'ECH400V-MP consente l'accesso simultaneo a più terminali essenziali per le misurazioni dell'effetto Hall, la caratterizzazione dei transistor multi-gate, i test degli oscillatori ad anello,e strutture di dispositivi complessi che richiedonoLe sei sonde coassiali in carburo di tungsteno placcate in oro sono dotate di posizionamento XYZ manuale indipendente con ± 6 mm di percorrenza,dando ai ricercatori la completa libertà di configurare le disposizioni della sonda per qualsiasi geometria del dispositivo.

funzionanti in una camera a vuoto sigillata nell'intero intervallo di temperatura compreso tra -190°C e 400°C,Questa stazione di sonda fornisce il controllo ambientale essenziale per caratterizzare i dispositivi sensibili alla temperatura senza interferenze atmosfericheIl sistema di raffreddamento dell'azoto liquido consente un funzionamento criogenico stabile per le misurazioni di trasporto quantistico.mentre l'elemento di riscaldamento resistivo consente una rapida caratterizzazione termica delle prestazioni del dispositivo in un intervallo di quasi 600 ° CLa stabilità di ± 0,1°C garantisce la cattura di sottili firme elettriche dipendenti dalla temperatura con la precisione richiesta per la pubblicazione in riviste di alto livello.

Ciascuno dei sei canali di sonda termina in una porta BNC triassiale dedicata, fornendo percorsi di segnale individualmente protetti che riducono al minimo il crosstalk tra i canali di misurazione.Questa architettura è particolarmente utile per le misurazioni della barra di Hall in cui le misurazioni simultanee di tensione e corrente sui contatti adiacenti richiedono un isolamento eccezionale canale-canaleLa suite di software TNEX supporta il sequenziamento automatizzato di misurazioni multicanale,consentire efficienti flussi di lavoro di screening a livello di wafer quando è necessario caratterizzare più dispositivi in condizioni termiche identiche.

• Configurazione indipendente della sonda:Sette sonde coassiali completamente indipendenti in carburo di tungsteno placcate in oro con posizionamento XYZ micrometrico dedicato offrono la flessibilità di caratterizzare dispositivi complessi multi-terminali, comprese le barre di Hall,di larghezza superiore a 50 mm, e strutture di prova integrate.
• Intervallo completo da temperatura criogenica a temperatura elevata:Il raffreddamento dell'azoto liquido a -190°C combinato con il riscaldamento resistivo a 400°C consente una completa caratterizzazione dipendente dalla temperatura su una durata operativa di 590°C all'interno di un unico ambiente a vuoto.
• Canali triassiali individualmente protetti:Sei porte BNC triaxiali dedicate con protezione per canale riducono al minimo le correnti di crosstalk e di perdite, essenziali per misure simultanee accurate sui terminali dei dispositivi adiacenti.
• Protezione dell'ambiente sotto vuoto:La camera sigillata ermeticamente impedisce la condensazione durante il funzionamento criogenico e l'ossidazione durante le misurazioni ad alta temperatura, consentendo una vera determinazione delle proprietà intrinseche del dispositivo.
• Screening a livello di wafer pronto:La piattaforma di campionamento da 23 mm x 23 mm e la flessibilità di sei sonde supportano la caratterizzazione multi-die senza rimontaggio del campione, migliorando drasticamente il throughput per i flussi di lavoro di screening dei dispositivi a livello di wafer.
• TNEX Sequenziamento automatizzato multicanale:Il software integrato consente sequenze di misura programmabili su tutti e sei i canali sincronizzate con i profili di temperatura, automatizzando complessi protocolli di caratterizzazione multi-terminal.

La stazione di sonda ECH400V-MP affronta le sfide di misura dei gruppi di ricerca e dei laboratori industriali che lavorano con dispositivi complessi a più terminali.I fisici della materia condensata si basano sulla configurazione a 6 sonde per le misurazioni dell'effetto Hall su nuovi materiali 2D, isolanti topologici e sistemi Hall quantistici, in cui le misurazioni simultanee longitudinali e trasversali della tensione richiedono più contatti di sonda indipendenti.I ricercatori di dispositivi semiconduttori utilizzano la capacità di multi-sonda per caratterizzare le strutture FinFET multi-gate e gate-all-around transistor, mappando le caratteristiche di trasferimento come funzioni della temperatura nell'intero intervallo da criogeno a elevato.L'emergente comunità dell'informatica quantistica utilizza la capacità criogenica per testare strutture di test di qubit superconduttori, Josephson junction arrays, e dispositivi di contatto a punti quantistici a temperature di base accessibili a millikelvin.Le fonderie di semiconduttori industriali utilizzano la configurazione a 6 sonde per il controllo dei processi di monitoraggio delle strutture dei gruppi di elementi di prova sui wafer di produzione, in cui l'accesso rapido a più terminali accelera la raccolta di dati di controllo dei processi statistici.I ricercatori di fotonica integrata traggono vantaggio dall'ambiente vuoto e dall'accesso multi-sonda per la caratterizzazione dei modulatori elettro-ottici, fotodetettori e circuiti integrati fotonici-elettronici ibridi in condizioni termiche controllate.

Ogni stazione di prova ECH400V-MP è sottoposta a prove di accettazione di fabbrica complete secondo la norma ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, e sistemi di gestione della qualità certificati ISO 45001:2018. I test comprendono la verifica della resistenza al contatto della sonda individuale, la misurazione dell'isolamento canale-canale,certificazione della corrente di perdita triassiale ai livelli di subpicoamplificazione, calibrazione della temperatura a intervallo completo con verifica a 18 punti e certificazione del tasso di perdita della camera a vuoto.Il sistema completo è confezionato in una custodia di volo in lega di alluminio rinforzata con compartimenti di schiuma per tutti e sei i manipolatori di sonda, confezionamento antiumidità sigillato al vuoto e una cassa di legno di qualità per l'esportazione con indicatori di urto, inclinazione e umidità integrati.La fornitura standard comprende la stazione di sonda ECH400V-MP con sei manipolatori di sonda, regolatore di temperatura di precisione, regolatore di raffreddamento, 10 litri di azoto liquido Dewar, refrigeratore a ricircolo, licenza software TNEX, sei gruppi di cavi BNC triassiali, kit di connessione della pompa a vuoto,e tutti i componenti di interconnessione richiestiGli accessori opzionali includono geometrie personalizzate della punta della sonda, bracci di sonda ad alta frequenza a 40 GHz, posizionatori di sonda aggiuntivi per l'espansione in configurazione a 8 sonde,e sistemi automatici di riempimento di azoto liquido per misurazioni criogeniche di lunga durata senza controlloLa garanzia standard è di 12 mesi con piani di servizio estesi opzionali e supporto prioritaria delle applicazioni disponibili.