6-محور متعدد محور خلاء محور 6-محور پیکربندی -190 °C تا 400 °C ± 0.1 °C ثبات تست سطح Wafer BNC سه محوری

ایستگاه کاوشگر خلاء چند پروب GoGo ECH400V-MP با پیکربندی جامع 6 پروب، انعطاف پذیری در مشخصات دستگاه های الکتریکی را دوباره تعریف می کند. در جایی که ایستگاه‌های استاندارد 4 پروب، توپولوژی‌های اندازه‌گیری را محدود می‌کنند، ECH400V-MP دسترسی چند ترمینالی را به طور همزمان برای اندازه‌گیری اثر هال، خصوصیات ترانزیستور چند دروازه، آزمایش نوسان‌گر حلقه، و ساختارهای دستگاه پیچیده‌ای که نیاز به منبع، تخلیه، دروازه، بدنه و تماس‌های زیرلایه به طور همزمان دارند را امکان‌پذیر می‌سازد. هر شش کاوشگر کواکسیال کاربید تنگستن با روکش طلا دارای موقعیت یابی میکرومتر دستی مستقل XYZ با حرکت ± 6 میلی متر هستند که به محققان آزادی کامل برای پیکربندی ترتیبات کاوشگر برای هر هندسه دستگاهی می دهد.

این ایستگاه پروب که در یک محفظه خلاء مهر و موم شده در محدوده دمایی کامل -190 تا 400 درجه سانتیگراد کار می کند، کنترل محیطی ضروری را برای مشخص کردن دستگاه های حساس به دما بدون تداخل جوی فراهم می کند. سیستم خنک‌کننده نیتروژن مایع، عملکرد برودتی پایداری را برای اندازه‌گیری‌های انتقال کوانتومی به دست می‌آورد، در حالی که عنصر گرمایش مقاومتی، خصوصیات حرارتی سریع عملکرد دستگاه را در طول تقریباً 600 درجه سانتی‌گراد امکان‌پذیر می‌سازد. ثبات ± 0.1 درجه سانتیگراد تضمین می کند که امضاهای الکتریکی ظریف وابسته به دما با دقت مورد نیاز برای انتشار در مجلات سطح بالا ثبت می شوند.

هر یک از شش کانال کاوشگر به یک درگاه BNC سه محوری ختم می‌شوند و مسیرهای سیگنالی را به صورت جداگانه محافظت می‌کنند که تداخل بین کانال‌های اندازه‌گیری را به حداقل می‌رساند. این معماری به‌ویژه برای اندازه‌گیری‌های نوار هال که اندازه‌گیری‌های ولتاژ و جریان همزمان روی کنتاکت‌های مجاور نیازمند جداسازی کانال به کانال استثنایی است، ارزشمند است. مجموعه نرم افزاری TNEX از توالی اندازه گیری خودکار چند کاناله پشتیبانی می کند و گردش کار غربالگری در سطح ویفر را قادر می سازد که در آن چندین دستگاه باید تحت شرایط حرارتی یکسان مشخص شوند.

• 6-پیکربندی مستقل پروب:شش کاوشگر کواکسیال کاربید تنگستن با روکش طلا کاملاً مستقل با موقعیت‌یابی میکرومتری XYZ انعطاف‌پذیری را برای مشخص کردن دستگاه‌های چند پایانی پیچیده از جمله میله‌های هال، ترانزیستورهای چند دروازه‌ای و ساختارهای آزمایشی یکپارچه فراهم می‌کنند.
• محدوده کامل برودتی تا دمای بالا:خنک‌سازی نیتروژن مایع تا 190- درجه سانتی‌گراد همراه با گرمایش مقاومتی تا 400 درجه سانتی‌گراد، خصوصیات کامل وابسته به دما را در یک بازه عملیاتی 590 درجه سانتی‌گراد در یک محیط خلاء واحد امکان‌پذیر می‌سازد.
• کانال های سه محوره محافظت شده انفرادی:شش پورت اختصاصی BNC سه محوره با محافظ هر کانال، جریان های تداخلی و نشتی را به حداقل می رساند، که برای اندازه گیری دقیق همزمان در پایانه های دستگاه مجاور ضروری است.
• حفاظت از محیط خلاء:محفظه مهر و موم شده هرمتیک از تراکم در طول عملیات برودتی و اکسیداسیون در طول اندازه گیری دمای بالا جلوگیری می کند و امکان تعیین ویژگی ذاتی واقعی دستگاه را فراهم می کند.
• آماده غربالگری سطح ویفر:پلت فرم نمونه 23mm x 23mm و انعطاف‌پذیری شش پروب از مشخصه‌های چند قالبی بدون نصب مجدد نمونه پشتیبانی می‌کند و به طور چشمگیری توان عملیات غربالگری دستگاه در سطح ویفر را بهبود می‌بخشد.
• توالی چند کاناله خودکار TNEX:نرم‌افزار یکپارچه توالی‌های اندازه‌گیری قابل برنامه‌ریزی را در تمام شش کانال همگام‌سازی شده با پروفایل‌های دما فعال می‌کند و پروتکل‌های پیچیده مشخصه چند ترمینالی را خودکار می‌کند.

ایستگاه پروب ECH400V-MP به چالش‌های اندازه‌گیری گروه‌های تحقیقاتی و آزمایشگاه‌های صنعتی که با دستگاه‌های پیچیده چند ترمینالی کار می‌کنند، می‌پردازد. فیزیکدانان ماده چگال برای اندازه‌گیری اثر هال بر روی مواد دوبعدی جدید، عایق‌های توپولوژیکی و سیستم‌های هال کوانتومی به پیکربندی 6 پروب تکیه می‌کنند، جایی که اندازه‌گیری‌های ولتاژ طولی و عرضی به چندین تماس کاوشگر مستقل نیاز دارند. محققان دستگاه‌های نیمه‌رسانا از قابلیت چند پروب برای توصیف ساختارهای ترانزیستوری FinFET چند دروازه‌ای و دروازه‌ای همه‌جانبه استفاده می‌کنند، و ویژگی‌های انتقال را به عنوان توابع دما در محدوده کامل برودتی به بالا ترسیم می‌کنند. جامعه محاسباتی کوانتومی در حال ظهور از قابلیت برودتی برای آزمایش ساختارهای آزمایش کیوبیت ابررسانا، آرایه‌های اتصال جوزفسون و دستگاه‌های تماس نقطه کوانتومی در دمای پایه قابل دسترس میلی‌کلوین استفاده می‌کند. ریخته گری های نیمه هادی صنعتی از پیکربندی 6 پروب برای نظارت بر کنترل فرآیند ساختارهای گروه عنصر آزمایش بر روی ویفرهای تولیدی استفاده می کنند، جایی که دسترسی سریع چند ترمینالی جمع آوری داده های کنترل فرآیند آماری را تسریع می کند. محققان فوتونیک یکپارچه از محیط خلاء و دسترسی چند پروب برای توصیف تعدیل‌کننده‌های الکترواپتیک، آرایه‌های آشکارساز نوری، و مدارهای مجتمع فوتونیک-الکترونیک هیبریدی تحت شرایط حرارتی کنترل‌شده بهره می‌برند.

هر ایستگاه کاوشگر ECH400V-MP تحت آزمایش های جامع پذیرش کارخانه تحت سیستم های مدیریت کیفیت ISO 9001:2015، ISO 14001:2015 و ISO 45001:2018 قرار می گیرد. آزمایش شامل تأیید مقاومت تماس کاوشگر فردی، اندازه‌گیری جداسازی کانال به کانال، تأیید جریان نشتی سه‌محوره تا سطوح زیر پیکوآمپ، کالیبراسیون دمای تمام محدوده با تأیید 18 نقطه، و تأیید نرخ نشت محفظه خلاء است. سیستم کامل در یک محفظه پروازی آلیاژ آلومینیوم تقویت‌شده با محفظه‌های فوم جداگانه برای هر شش دستکاری پروب، بسته‌بندی سد رطوبتی با خلاء و یک جعبه چوبی درجه صادرات با نشانگرهای شوک، شیب و رطوبت یکپارچه بسته‌بندی شده است. تحویل استاندارد شامل ایستگاه کاوشگر ECH400V-MP با شش کنترل کننده پروب، کنترل کننده دمای دقیق، کنترل کننده خنک کننده، نیتروژن مایع 10 لیتری Dewar، چیلر چرخشی، مجوز نرم افزار TNEX، شش مجموعه کابل BNC سه محوری، کیت اتصال پمپ خلاء، و تمام اجزای اتصال مورد نیاز است. لوازم جانبی اختیاری شامل هندسه های سفارشی نوک پروب، بازوهای پروب با فرکانس بالا با نرخ 40 گیگاهرتز، موقعیت دهنده های پروب اضافی برای گسترش به پیکربندی 8 پروب، و سیستم های خودکار پر کردن نیتروژن مایع برای اندازه گیری های برودتی طولانی مدت بدون مراقبت است. گارانتی استاندارد 12 ماه با برنامه های خدماتی تمدید شده اختیاری و پشتیبانی برنامه های اولویت دار موجود است.