担当者 : Luo Zhuan
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August 9, 2026
半導体の性能を絶え間なく追求する中で 極端な条件下で材料や装置を正確に測定することが 極めて重要です絶対零点に近い温度や高温で チップの微妙な電気特性すべてを 正確に検出する 課題を想像してみてください光電子機器の信頼性を検証するために,厳しい空間条件をシミュレートする難しさを考えてみましょう.
SCGシリーズの 低温真空探査ステーションは これらの最先端の課題に対する 革新的な解決策として登場していますSCGシリーズには超高真空技術が組み込まれています精密な自動化と高度なレーザーシミュレーション能力は,長年の技術的専門知識と革新を代表しています.
SCGシリーズは,基本的な研究から製品検証まで,いくつかの重要な分野での厳格な要求に応えて,比類のない多用性を提供しています:
SCGシリーズは,いくつかの技術革新によって,その例外的なパフォーマンスを達成します:
10まで達できる-10表面吸着と汚染を最小限に抑えながら 宇宙のような条件をシミュレートします
2μmの位置定位精度と超低流出率 (100fAN @25°Cまで) を備えたXYZ三次元調整機能.
7:1のズーム比 (4μmの解像度) またはオプションの金属工学顕微鏡 (20X-1000X) を搭載する高解像度顕微鏡.
77Kから473K (4.2Kまで拡張可能) で,0.001K解像度と ±0.1Kの安定性で動作する.
特殊なプラットフォームは高感度測定のために外部振動を効果的に隔離します
| パラメータ | SCG-O-2/SCG-C-2 | SCG-O-4 |
|---|---|---|
| サンプルサイズ | 2インチ | 4インチ |
| バキュームレベル | 10-10トル (最大) | |
| 温度範囲 | 77K-473K / 4.2K-473K | |
| 温度解像度 | 0.001K | |
| 探査機の位置位置精度 | 2μm | |
| 電流漏れ | 1pAN @ 25°C,100fAN @ 25°C | |
SCGシリーズは 高級半導体試験機器の重要な進歩です研究者に前例のない能力を提供し,新しい半導体材料における量子効果を調査するより効率的な光電子装置を開発し,極端な条件下で信頼性の検証を行います.この革新的なプラットフォームは 科学的発見と技術革新の限界を押し広げ続けています.
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