반도체 성능을 끊임없이 추구함에 따라 극한 조건에서의 재료 및 장치에 대한 정밀한 측정이 매우 중요해졌습니다. 절대 영도에 가까운 온도나 고온, 고압 진공 환경에서 칩의 모든 미묘한 전기적 특성을 정확하게 감지하는 과제를 상상해 보세요. 광전자 장치의 신뢰성을 검증하기 위해 혹독한 우주 조건을 시뮬레이션하는 어려움을 고려해 보세요.

SCG 시리즈 극저온 진공 프로브 스테이션은 이러한 최첨단 과제에 대한 획기적인 솔루션으로 등장합니다. 국내 최초로 개발된 극저온 진공 프로빙 시스템인 SCG 시리즈는 초고진공 기술, 정밀 자동화 및 고급 레이저 시뮬레이션 기능을 통합하여 수년간의 기술 전문성과 혁신을 대표합니다.

SCG 시리즈는 몇 가지 주요 영역에 걸쳐 기초 연구부터 제품 검증까지 엄격한 요구 사항을 충족하는 탁월한 다용성을 제공합니다.

• 칩 테스트: 누설 전류, 문턱 전압 및 트랜스컨덕턴스와 같은 중요 매개변수를 포함하여 다양한 온도 및 진공 조건에서 집적 회로, 마이크로프로세서 및 메모리 칩의 전기적 성능에 대한 포괄적인 평가.
• 광전자 장치 테스트: 레이저 다이오드(LD), 발광 다이오드(LED) 및 광검출기(PD)에 대한 정밀한 광전 측정으로, 발광 효율, 응답 속도, 스펙트럼 특성 및 극한 온도에서의 성능 저하를 평가합니다.
• 광섬유 스펙트럼 테스트: 안정적인 광통신 네트워크 구축에 중요한 다양한 온도 및 진공 조건에서의 전송 손실, 분산 및 기타 광학 매개변수 평가.
• IV/CV 특성 테스트: 전류-전압 및 커패시턴스-전압 특성에 대한 심층 분석으로 캐리어 수송 메커니즘, 밴드 구조 및 인터페이스 특성을 밝힙니다.
• 홀 효과 테스트: 열 잡음 및 표면 효과를 최소화한 홀 계수, 캐리어 농도 및 이동도 측정.
• 전자기 수송 테스트: 복합 전기/자기장 및 온도 변화 하에서의 복잡한 수송 거동 조사.
• 고주파 특성 테스트: 정밀하게 제어된 진공 및 온도 조건에서의 고주파 응답 및 임피던스 특성 평가.

SCG 시리즈는 몇 가지 기술적 돌파구를 통해 뛰어난 성능을 달성합니다.

10^-10 torr에 도달하여 표면 흡착 및 오염을 최소화하고 우주와 유사한 조건을 시뮬레이션합니다.^{온도 해상도}2μm 위치 정확도와 초저 전류 누설(25°C에서 100fA까지)을 갖춘 XYZ 3차원 조절 기능.

7:1 줌 비율(4μm 해상도)의 고해상도 현미경 또는 선택 사양인 금속 현미경(20X-1000X)을 통합합니다.

0.001K 해상도 및 ±0.1K 안정성으로 77K에서 473K(4.2K까지 확장 가능)까지 작동합니다.

고감도 측정을 위해 외부 진동을 효과적으로 절연하는 특수 플랫폼.

매개변수