โฟนการประมวลผลทางความร้อนที่รวดเร็วแบบครึ่งขนส่ง

เครื่องทำความร้อนเวเฟอร์ GoGo ความแม่นยำสูงเป็นแพลตฟอร์มการแปรรูปด้วยความร้อนที่ทันสมัย ออกแบบมาสำหรับขั้นตอนที่ต้องการมากที่สุดในการวิจัยและผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ออกแบบมาเพื่อรองรับเทคโนโลยีการตรวจจับและแปรรูปกระบวนการที่หลากหลาย ตั้งแต่การเชื่อมแบบไครโอเจนิกส์ลึกไปจนถึงการเคลือบฟิล์มบางแบบ ALD และการเติบโตแบบเอพิแท็กเซียลของ SiC เครื่องทำความร้อนเวเฟอร์อเนกประสงค์นี้มีช่วงอุณหภูมิที่กว้างเป็นพิเศษตั้งแต่ -190°C ถึง 150°C ด้วยแท่นวางตัวอย่างเงินที่มีความเสถียรสูงและการออกแบบที่เข้ากันได้กับสุญญากาศ จึงให้สภาพแวดล้อมทางความร้อนที่แม่นยำ สะอาด และสม่ำเสมอที่จำเป็นสำหรับการพัฒนาอุปกรณ์รุ่นต่อไป ทำให้เป็นเครื่องมือที่จำเป็นสำหรับการวิจัยและพัฒนาและการผลิตระดับนำร่อง

• ช่วงความร้อนที่ไม่มีใครเทียบได้สำหรับกระบวนการที่ทันสมัย: เครื่องทำความร้อนเวเฟอร์นี้ช่วยให้กระบวนการครอบคลุมตั้งแต่ไครโอเจนิกส์สุดขั้วไปจนถึงอุณหภูมิปานกลางถึงสูง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานใหม่ๆ เช่น การเชื่อมที่อุณหภูมิต่ำสำหรับการรวม 3 มิติ และให้การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำสำหรับกระบวนการเคลือบที่ละเอียดอ่อน เช่น Atomic Layer Deposition (ALD)

• ความสม่ำเสมอและความเสถียรของอุณหภูมิที่เหนือกว่า: ให้ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม ±0.1°C ทั่วทั้งแผ่นเงินขนาด 4 นิ้ว สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ถึงผลลัพธ์ของกระบวนการที่สม่ำเสมอ ซึ่งมีความสำคัญต่อการเคลือบฟิล์มที่สม่ำเสมอ อินเทอร์เฟซการเชื่อมที่ทำซ้ำได้ และผลผลิตอุปกรณ์สูง ไม่ว่าจะในการวิจัยหรือก่อนการผลิต

• การหมุนเวียนความร้อนที่รวดเร็วและควบคุมได้: ออกแบบมาเพื่อประสิทธิภาพ เครื่องทำความร้อนเวเฟอร์นี้ให้ความร้อนที่รวดเร็ว (สูงสุด 150°C/นาที) และการทำความเย็นแบบแอคทีฟที่ควบคุมได้ (ผ่านไนโตรเจนเหลวและการทำความเย็นด้วยน้ำ) ช่วยให้สามารถเปลี่ยนระหว่างขั้นตอนของกระบวนการได้อย่างรวดเร็วและลดเวลาวงจรโดยรวมในขั้นตอนการพัฒนา

• ปรับให้เหมาะสมกับสุญญากาศเพื่อความบริสุทธิ์ของกระบวนการ: ระบบทำงานในสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ควบคุมได้ ขจัดสิ่งปนเปื้อนและปฏิกิริยาเคมีที่ไม่ต้องการ สิ่งนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการเติบโตแบบเอพิแท็กเซียลที่มีความบริสุทธิ์สูง การแปรรูปพื้นผิวที่สะอาด และการสร้างอินเทอร์เฟซที่ปราศจากออกไซด์ที่เชื่อถือได้ในการใช้งานการเชื่อม

• การควบคุมอัจฉริยะและความน่าเชื่อถือที่ได้รับการรับรอง: รวมเข้ากับซอฟต์แวร์ TNEX ที่ทรงพลังสำหรับการควบคุมสูตรอัตโนมัติและการบันทึกข้อมูลได้อย่างสมบูรณ์ ผลิตภายใต้กระบวนการที่ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001, 14001 และ 45001 เครื่องทำความร้อนเวเฟอร์นี้สร้างขึ้นเพื่อความน่าเชื่อถือ ความปลอดภัย และประสิทธิภาพที่ทำซ้ำได้ในสภาพแวดล้อมเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ

เครื่องทำความร้อนเวเฟอร์ขั้นสูงนี้ออกแบบมาเพื่อเร่งนวัตกรรมในภาคเซมิคอนดักเตอร์ของภูมิภาคสำคัญทั่วโลก รวมถึงเอเชียตะวันออกเฉียงใต้ ตะวันออกกลาง รัสเซีย และแอฟริกา เป็นทรัพย์สินที่ขาดไม่ได้สำหรับโรงงานนาโนแฟบริเคชันของมหาวิทยาลัย ห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนาเซมิคอนดักเตอร์ขององค์กร และโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์สารประกอบที่มุ่งเน้นไปที่ MEMS การบรรจุขั้นสูง และวัสดุแถบกว้าง เช่น SiC และ GaN

1. เครื่องทำความร้อนเวเฟอร์นี้ออกแบบมาสำหรับกระบวนการใดโดยเฉพาะ?
   ได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับกระบวนการที่หลากหลาย รวมถึงการเชื่อมเวเฟอร์ที่อุณหภูมิต่ำ (ไครโอเจนิกส์) Atomic Layer Deposition (ALD) การเติบโตแบบเอพิแท็กเซียลของ Silicon Carbide (SiC) การอบอ่อน และการใช้งานใดๆ ที่ต้องการการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำในสุญญากาศ

2. สามารถรวมระบบนี้เข้ากับเครื่องมือคลัสเตอร์หรือห้องแปรรูปที่มีอยู่ของเราได้หรือไม่?
   ได้ เครื่องทำความร้อนเวเฟอร์ได้รับการออกแบบให้เป็นระบบย่อยแบบโมดูล เรามีข้อกำหนดอินเทอร์เฟซโดยละเอียดและสามารถจัดหาแผ่นอะแดปเตอร์แบบกำหนดเองเพื่ออำนวยความสะดวกในการรวมเข้ากับห้องสุญญากาศ OEM หรือแพลตฟอร์มเครื่องมือคลัสเตอร์ได้อย่างราบรื่น

3. การทำความเย็นแบบไครโอเจนิกส์ทำได้อย่างไร และมีความเสถียรเพียงใด?
   การทำความเย็นแบบไครโอเจนิกส์จะถูกส่งผ่านระบบไนโตรเจนเหลวแบบวงปิดที่จัดการโดยตัวควบคุมการทำความเย็นที่แม่นยำ ช่วยให้มีอุณหภูมิที่เสถียรลงไปถึง -190°C โดยมีการเปลี่ยนแปลงน้อยที่สุด ซึ่งจำเป็นสำหรับการเชื่อมและการศึกษาวัสดุที่อุณหภูมิต่ำสุดขั้ว

4. ซอฟต์แวร์ TNEX ควบคุมอะไรบ้าง?
   ซอฟต์แวร์ TNEX ให้คำสั่งที่สมบูรณ์ ช่วยให้คุณสร้าง จัดเก็บ และเรียกใช้สูตรอุณหภูมิแบบหลายขั้นตอนที่ซับซ้อน ตรวจสอบสถานะระบบแบบเรียลไทม์ และบันทึกข้อมูลกระบวนการทั้งหมดเพื่อการตรวจสอบย้อนกลับและการวิเคราะห์อย่างเต็มรูปแบบ

5. เครื่องทำความร้อนเวเฟอร์ต้องการการบำรุงรักษาอะไรบ้าง?
   ระบบได้รับการออกแบบมาเพื่อการทำงานที่แข็งแกร่งโดยมีการบำรุงรักษาเพียงเล็กน้อย ส่วนที่สิ้นเปลืองหลักคือไนโตรเจนเหลวสำหรับการทำความเย็น การออกแบบแบบโมดูลช่วยให้สามารถให้บริการส่วนประกอบหลักได้อย่างง่ายดายหากจำเป็น