Yarım iletken Hızlı Termal Annealer Yüksek hassasiyetli Hızlı Termal İşleme Fırını

GoGo Yüksek Hassasiyetli Wafer Isıtıcısı, yarı iletken araştırma ve üretiminde en zorlu adımlar için tasarlanmış en son teknolojiye sahip bir termal işleme platformudur. Designed to support variable process detection and processing technologies—from deep cryogenic bonding to ALD thin film deposition and SiC epitaxial growth—this versatile Wafer Heater offers an exceptionally broad temperature range from -190°C to 150°CYüksek istikrarlı gümüş örnekleme aşaması ve vakum uyumlu tasarımı ile, bir sonraki nesil cihaz geliştirme için gerekli kesin, temiz ve tek tip termal ortamı sunar.Hem Ar-Ge hem de pilot ölçekli üretim için gerekli bir araç haline getirmek.

• En son süreçler için eşsiz bir termal aralığı: Bu Wafer Isıtıcı aşırı kriyojenik ve orta yüksek sıcaklıklara kadar süreçleri mümkün kılar. It is uniquely suited for novel applications like low-temperature bonding for 3D integration and provides precise thermal control for sensitive deposition processes such as Atomic Layer Deposition (ALD).

• Üstün sıcaklık tekdüzeliği ve istikrarı: Tüm 4 inçlik gümüş levha boyunca ± 0,1 °C'lik olağanüstü termal istikrar elde eder.Tekdüze film çökmesi için kritik, yeniden üretilebilir yapıştırma arayüzleri ve yüksek cihaz verimi, ister araştırma ister ön üretim.

• Hızlı, Kontrol edilebilir Isı Döngüsü: Verimlilik için tasarlanmış olan bu Wafer Isıtıcı hızlı ısıtıcı (dakikada 150°C'ye kadar) ve kontrol edilen aktif soğutma sağlar (sıvı nitrojen ve su soğutması yoluyla),Süreç aşamaları arasında hızlı geçiş yapabilmek ve geliştirme iş akışlarında toplam döngü sürelerini azaltmak.

• Süreç saflığı için vakum optimizasyonu: Sistem, kirlenmeyi ve istenmeyen kimyasal reaksiyonları ortadan kaldırarak kontrol edilen vakum ortamında çalışır.Bu yüksek saflıklı epitaksiyel büyüme için çok önemlidir., temiz yüzey işleme ve yapıştırma uygulamalarında güvenilir, oksitsiz arayüzlere ulaşmak.

• Akıllı Kontrol ve Sertifikalı Güvenilirlik: Otomatik tarif kontrolü ve veri kayıtları için güçlü TNEX yazılımı ile tamamen entegre. ISO 9001, 14001 uyarınca üretilmiştir.ve 45001 sertifikalı süreçler, bu Wafer Heater kritik yarı iletken ortamlarda güvenilirlik, güvenlik ve tekrarlanabilir performans için inşa edilmiştir.

Bu gelişmiş Wafer Isıtıcı, Güneydoğu Asya, Orta Doğu, Rusya ve Afrika da dahil olmak üzere küresel kilit bölgelerin yarı iletken sektörlerinde inovasyonu hızlandırmak için tasarlanmıştır.Üniversite nano üretim tesisleri için vazgeçilmez bir varlıktır, kurumsal yarı iletken araştırma ve geliştirme laboratuvarları ve MEMS, gelişmiş ambalajlama ve SiC ve GaN gibi geniş bantlı malzemelere odaklanan bileşik yarı iletken döküm tesisleri.

1. Bu Wafer Heater özellikle hangi işlemler için tasarlandı?
   Düşük sıcaklıkta (kriyojenik) levha bağlama, Atomik Katman Depozisyonu (ALD), Silikon Karbid (SiC) epitaksi, kızartma,ve vakumda hassas bir sıcaklık kontrolü gerektiren herhangi bir uygulama.

2. Bu sistem mevcut kümel araçlarımız veya işlem odalarımızla birleştirilebilir mi?
   Wafer Heater modüler bir alt sistem olarak tasarlandı.Detaylı arabirim özellikleri sağlarız ve OEM vakum odalarına veya küme araç platformlarına sorunsuz entegrasyonu kolaylaştırmak için özel adaptör plakaları sağlayabiliriz.

3. Kriyojenik soğutma nasıl elde edilir ve ne kadar istikrarlıdır?
   Kriyojenik soğutma, düşük dalgalanma ile -190°C'ye kadar istikrarlı sıcaklıklar sağlayan, hassas bir soğutma denetleyicisi tarafından yönetilen kapalı döngü sıvı nitrojen sistemi ile sağlanır.Ekstrem düşüklerde yapıştırma ve malzeme çalışmaları için gereklidir..

4. TNEX yazılımı neyi kontrol ediyor?
   TNEX yazılımı, karmaşık çok aşamalı sıcaklık tarifleri oluşturmanıza, saklamanıza ve çalıştırmanıza izin veren, gerçek zamanlı olarak sistem durumunu izlemenize,ve tam izlenebilirlik ve analiz için tüm işlem verilerini kaydetmek.

5. Wafer Isıtıcısının bakımı nasıl?
   Sistem, minimum bakımla sağlam bir işletim için tasarlanmıştır.Modüler tasarım, gerektiğinde anahtar bileşenlerin kolay servis edilebilmesini sağlar.