高温探査ステーション 600°C ±0.1°C 安定 真空室 三軸 BNC 手動 マイクロメーター 探査機 位置付け

GoGo ECH600V-HT 高温探针台专为宽禁带半导体、大功率电子器件和先进材料在高达 600°C 的高温下的电学特性表征而设计。该探针台在密封的真空室内运行，消除了开放式高温测量中常见的氧化和热对流伪影，从而能够在真实的运行条件下，精确测定 SiC、GaN、Ga2O3 和金刚石基器件的固有特性。

ECH600V-HT 的核心是一个精密设计的探针定位系统，配备四个镀金碳化钨同轴探针，具有手动千分尺 XYZ 调节功能，行程为 ±6mm。手动千分尺控制的触觉反馈为研究人员提供了对探针接触质量的直观感知，这对于在微米级器件特征上建立可靠的电连接至关重要，同时避免了电动系统可能带来的过冲损坏风险。每个探针通过专用的三轴 BNC 端口连接，提供屏蔽信号路径，最大限度地减少了漏电流和电磁干扰，即使在高温下也能进行精确的低电流测量。

集成的 TNEX 软件套件提供了对温度曲线的完全数字控制，能够实现自动化的 I-V 扫描、C-V 测量和脉冲表征序列，并与精确的热控制同步。±0.1°C 的稳定性确保了温度相关的电学参数，如阈值电压漂移、导通电阻漂移和漏电流演变，能够以出版级数据和可靠的器件鉴定报告所需的保真度进行捕获。

• 600°C 高温能力： 扩展的热范围使得在受保护的真空环境中，能够在真实的运行条件下对宽禁带半导体（SiC、GaN、Ga2O3）和高温电子器件进行表征。
• 手动千分尺探针定位： 四个镀金碳化钨同轴探针，带有 XYZ ±6mm 千分尺调节功能，提供触觉式、无漂移的定位，以及灵敏的高温测量所需的稳定性。
• 三轴 BNC 低噪声接口： 每个探针通道上的专用三轴 BNC 端口提供屏蔽式、低漏泄的信号路径，对于精确的亚皮安电流测量和高阻抗器件表征至关重要。
• 真空室保护： 密封的真空环境可防止样品在高温下氧化，并消除热对流噪声，从而能够测定材料的固有特性。
• ±0.1°C 精密稳定性： 先进的多区域 PID 温度控制在整个热范围内保持设定点的精度，这对于可重复的温度相关参数提取至关重要。
• TNEX 自动测试序列： 集成的软件平台将温度斜坡与电学测量同步，支持自动化的 I-V-T、C-V-T 和脉冲表征协议，实现全面的器件分析。

ECH600V-HT 探针台可满足开发下一代功率电子器件和高温半导体器件的研究小组和工业实验室的特殊需求。宽禁带半导体研究人员使用它对 SiC MOSFET、GaN HEMT 和 Ga2O3 肖特基二极管进行温度相关的 I-V 表征，绘制结温函数下的阈值电压稳定性、比导通电阻和击穿电压等关键参数。功率模块开发人员依赖真空环境对烧结银芯片连接界面进行无氧化高温可靠性测试以及线键退化研究。汽车电子行业使用该设备对用于电动汽车牵引逆变器的功率器件进行加速寿命测试，这些器件的结温通常会超过 175°C。航空航天和国防承包商利用其高温能力对抗辐射电子器件和井下仪器组件进行鉴定。无论是在大学宽禁带半导体研究中心、工业功率器件鉴定实验室还是国家研究机构部署，ECH600V-HT 都提供了先进高温器件表征所需的性能、测量完整性和运行可靠性。

所有 ECH600V-HT 探针台均在 ISO 9001:2015、ISO 14001:2015 和 ISO 45001:2018 认证的质量管理体系下制造和校准。工厂验收测试包括全量程热校准（15 点验证）、探针接触电阻测量、亚皮安级别的三轴漏电流验证以及真空室泄漏率认证。整个系统装在专用的铝合金航空箱中，配有定制模压泡沫隔层、真空密封的防潮包装以及带集成减震和湿度指示器的出口级木箱。标准交付包括 ECH600V-HT 探针台组件、精密温控器、循环冷却器、TNEX 软件许可证、四个镀金碳化钨同轴探针、三轴 BNC 电缆组、真空泵连接套件以及所有必需的互连电缆。可选配件包括额外的探针定位器、用于特定器件布局的定制探针尖端几何形状、高频探针臂以及大容量真空泵系统。标准保修期为 12 个月，并提供可选的延长服务计划。