Trạm thăm dò nhiệt độ cao 600 °C ± 0,1 °C Khả năng ổn định Phòng chân không Triaxial BNC Manual Micrometer Probe Positioning

Trạm đo đầu dò nhiệt độ cao GoGo ECH600V-HT được chế tạo chuyên dụng cho việc đặc trưng điện của các chất bán dẫn băng rộng, thiết bị điện tử công suất cao và vật liệu tiên tiến ở nhiệt độ cao lên đến 600°C. Hoạt động trong buồng chân không kín, Trạm đo này loại bỏ các hiện tượng oxy hóa và đối lưu nhiệt làm ảnh hưởng đến các phép đo nhiệt độ cao trong không khí mở, cho phép xác định chính xác các đặc tính nội tại của các thiết bị dựa trên SiC, GaN, Ga2O3 và kim cương trong điều kiện hoạt động thực tế.

Cốt lõi của ECH600V-HT là hệ thống định vị đầu dò được thiết kế chính xác, bao gồm bốn đầu dò đồng trục bằng hợp kim vonfram cacbua mạ vàng với điều chỉnh XYZ bằng micrometer thủ công cho phép di chuyển ±6mm. Phản hồi xúc giác của điều khiển micrometer thủ công mang lại cho các nhà nghiên cứu cảm giác trực quan về chất lượng tiếp xúc của đầu dò, điều cần thiết để thiết lập kết nối điện đáng tin cậy với các chi tiết thiết bị có kích thước micron mà không có nguy cơ hư hỏng do quá đà mà các hệ thống tự động có thể gây ra. Mỗi đầu dò kết nối qua cổng BNC ba trục chuyên dụng, cung cấp các đường tín hiệu được bảo vệ giúp giảm thiểu dòng rò và nhiễu điện từ để đo dòng điện thấp chính xác ngay cả ở nhiệt độ cao.

Bộ phần mềm TNEX tích hợp cung cấp khả năng điều khiển kỹ thuật số hoàn toàn các cấu hình nhiệt độ, cho phép quét I-V tự động, đo C-V và các chuỗi đặc trưng xung được đồng bộ hóa với điều khiển nhiệt chính xác. Độ ổn định ±0.1°C đảm bảo rằng các thông số điện phụ thuộc vào nhiệt độ như dịch chuyển điện áp ngưỡng, trôi điện trở bật và sự tiến triển của dòng rò được ghi lại với độ trung thực cần thiết cho dữ liệu chất lượng xuất bản và báo cáo đánh giá thiết bị đáng tin cậy.

• Khả năng nhiệt độ cao 600°C: Dải nhiệt độ mở rộng cho phép đặc trưng các chất bán dẫn băng rộng (SiC, GaN, Ga2O3) và thiết bị điện tử nhiệt độ cao trong điều kiện hoạt động thực tế trong môi trường chân không được bảo vệ.
• Định vị đầu dò bằng micrometer thủ công: Bốn đầu dò đồng trục bằng hợp kim vonfram cacbua mạ vàng với điều chỉnh micrometer XYZ ±6mm cung cấp khả năng định vị xúc giác, không trôi với độ ổn định mà các phép đo nhiệt độ cao nhạy cảm yêu cầu.
• Giao diện nhiễu thấp BNC ba trục: Các cổng BNC ba trục chuyên dụng trên mỗi kênh đầu dò cung cấp các đường tín hiệu được bảo vệ, dòng rò thấp, cần thiết cho các phép đo dòng điện dưới picoamp chính xác và đặc trưng thiết bị trở kháng cao.
• Bảo vệ buồng chân không: Môi trường chân không kín khí ngăn chặn quá trình oxy hóa mẫu ở nhiệt độ cao và loại bỏ nhiễu đối lưu nhiệt, cho phép xác định đặc tính vật liệu nội tại.
• Độ ổn định chính xác ±0.1°C: Điều khiển nhiệt PID đa vùng tiên tiến duy trì độ chính xác điểm đặt trên toàn bộ dải nhiệt độ, rất quan trọng để trích xuất thông số phụ thuộc nhiệt độ có thể tái lập.
• Chuỗi kiểm tra tự động TNEX: Nền tảng phần mềm tích hợp đồng bộ hóa các ramp nhiệt độ với các phép đo điện, cho phép các giao thức đặc trưng I-V-T, C-V-T và xung tự động để phân tích thiết bị toàn diện.

Trạm đo đầu dò ECH600V-HT phục vụ các yêu cầu chuyên biệt của các nhóm nghiên cứu và phòng thí nghiệm công nghiệp đang phát triển các thiết bị điện tử công suất thế hệ tiếp theo và thiết bị bán dẫn nhiệt độ cao. Các nhà nghiên cứu bán dẫn băng rộng sử dụng nó để đặc trưng I-V phụ thuộc nhiệt độ của MOSFET SiC, HEMT GaN và diode Schottky Ga2O3, lập bản đồ các thông số quan trọng như độ ổn định điện áp ngưỡng, điện trở bật cụ thể và điện áp đánh thủng theo hàm của nhiệt độ tiếp giáp. Các nhà phát triển mô-đun công suất dựa vào môi trường chân không để kiểm tra độ tin cậy nhiệt độ cao không oxy hóa của các giao diện kết dính bạc thiêu kết và các nghiên cứu suy giảm mối hàn dây. Ngành công nghiệp điện tử ô tô sử dụng trạm để kiểm tra tuổi thọ tăng tốc của các thiết bị công suất dành cho bộ biến tần kéo xe điện, nơi nhiệt độ tiếp giáp thường xuyên vượt quá 175°C. Các nhà thầu quốc phòng và hàng không vũ trụ sử dụng khả năng nhiệt độ cao để đánh giá các thiết bị điện tử chống bức xạ và các thành phần thiết bị đo dưới lòng đất. Cho dù được triển khai tại một trung tâm nghiên cứu bán dẫn băng rộng của trường đại học, một phòng thí nghiệm đánh giá thiết bị công suất công nghiệp hay một viện nghiên cứu quốc gia, ECH600V-HT đều mang lại hiệu suất nhiệt, tính toàn vẹn đo lường và độ tin cậy hoạt động mà việc đặc trưng thiết bị nhiệt độ cao tiên tiến yêu cầu.

Mỗi Trạm đo đầu dò ECH600V-HT được sản xuất và hiệu chuẩn theo các hệ thống quản lý chất lượng được chứng nhận ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 và ISO 45001:2018. Kiểm tra chấp nhận tại nhà máy bao gồm hiệu chuẩn nhiệt toàn dải với xác minh 15 điểm, đo điện trở tiếp xúc đầu dò, xác minh dòng rò ba trục ở mức dưới picoamp và chứng nhận tốc độ rò rỉ buồng chân không. Toàn bộ hệ thống được vận chuyển trong một hộp bay bằng hợp kim nhôm chuyên dụng với các khoang bọt đúc tùy chỉnh, bao bì màng chắn độ ẩm được hút chân không và một thùng gỗ cấp xuất khẩu với các chỉ báo sốc và độ ẩm tích hợp. Giao hàng tiêu chuẩn bao gồm bộ lắp ráp trạm đo đầu dò ECH600V-HT, bộ điều khiển nhiệt độ chính xác, bộ làm mát tuần hoàn, giấy phép phần mềm TNEX, bốn đầu dò đồng trục bằng hợp kim vonfram cacbua mạ vàng, bộ cáp BNC ba trục, bộ kết nối máy bơm chân không và tất cả các cáp kết nối cần thiết. Các phụ kiện tùy chọn bao gồm các bộ định vị đầu dò bổ sung, hình dạng đầu dò tùy chỉnh cho bố cục thiết bị cụ thể, cánh tay đầu dò tần số cao và các hệ thống máy bơm chân không dung lượng mở rộng. Bảo hành tiêu chuẩn là 12 tháng với các gói dịch vụ mở rộng tùy chọn có sẵn.