Tấm gia nhiệt wafer có độ chính xác cao tùy chỉnh

Máy sưởi wafer chính xác cao với độ ổn định nhiệt độ ± 0,1 °C, ≤ 10μm phẳng ở nhiệt độ cao và phạm vi RT ~ 600 °C cho các quy trình bán dẫn

Máy sưởi Wafer chính xác cao GoGo là một giải pháp xử lý nhiệt cốt lõi được thiết kế cho các yêu cầu đòi hỏi của sản xuất và nghiên cứu bán dẫn hiện đại.Nó đóng một vai trò quan trọng trong các quy trình cấp wafer quan trọng như liên kết nhiệt độ caoBộ sưởi Wafer tiên tiến này cung cấp độ chính xác điều khiển nhiệt độ đặc biệt (± 0,1 ° C) và sự đồng nhất nhiệt độ vượt trội trên toàn bộ tấm,đảm bảo môi trường nhiệt ổn định và lặp lạiĐược thiết kế để duy trì tính phẳng đặc biệt ở nhiệt độ cao (≤10μm, tùy chọn xuống còn 3μm), nó cung cấp độ tin cậy,nền tảng sưởi ấm đồng nhất cần thiết cho sản xuất thiết bị thế hệ tiếp theo và R&D.

• Độ chính xác và đồng nhất nhiệt không sánh ngang: đạt được độ ổn định nhiệt độ cấp phòng thí nghiệm là ± 0,1 °C với sự đồng nhất chéo-wafer xuất sắc. Độ chính xác này rất quan trọng cho kết quả quy trình nhất quán,năng suất cao, và nghiên cứu tái tạo trong các ứng dụng bán dẫn nhạy cảm.
• Được thiết kế cho độ phẳng ở nhiệt độ cao: tấm được thiết kế và sản xuất tỉ mỉ từ các vật liệu mở rộng nhiệt thấp (ví dụ:Invar®) để duy trì tính phẳng đặc biệt (từ 3μm xuống) ngay cả ở nhiệt độ hoạt động tối đa lên đến 600 °C, ngăn chặn đường cong wafer và đảm bảo tiếp xúc hoàn hảo.
• Tùy chỉnh đầy đủ cho quy trình của bạn: Máy sưởi Wafer của chúng tôi có thể cấu hình đầy đủ. Chọn từ kích thước wafer tiêu chuẩn (2 đến 12"), các vật liệu mạ khác nhau (Al hợp kim, thép không gỉ, Invar®),Các tùy chọn áp suất gắn kết (0-100kN), và hệ thống làm mát (nước / không khí) để phù hợp hoàn hảo với nhu cầu quy trình cụ thể của bạn.
• Rất linh hoạt cho R & D và sản xuất thử nghiệm: Thích hợp cho cả môi trường khí quyển và chân không được kiểm soát,Hệ thống này hỗ trợ một loạt các ứng dụng từ nghiên cứu học thuật cơ bản về vật liệu mới đến phát triển quy trình và sản xuất thí điểm hàng loạt nhỏ trong môi trường công nghiệp.
• Chất lượng được chứng nhận cho các hoạt động quan trọng: Được sản xuất theo tiêu chuẩn ISO 9001:2015, 14001:2015, và 45001:2018 hệ thống quản lý được chứng nhận, đảm bảo mỗi bộ sưởi Wafer đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất về độ tin cậy, an toàn và hiệu suất được yêu cầu trong môi trường bán dẫn.

Máy sưởi Wafer cấp chuyên nghiệp này được thiết kế để hỗ trợ ngành bán dẫn đang phát triển ở các thị trường quốc tế chính bao gồm Đông Nam Á, Trung Đông, Nga và châu Phi.Nó là một công cụ thiết yếu cho các phòng thí nghiệm nghiên cứu vi điện tử đại học., các viện nghiên cứu bán dẫn và các công ty công nghệ cao tham gia vào MEMS, đóng gói tiên tiến, bán dẫn hợp chất và phát triển mạch tích hợp.

1. Ứng dụng chính của máy sưởi Wafer này là gì?
   Nó được sử dụng để xử lý nhiệt chính xác trong sản xuất bán dẫn và hệ thống vi mô, bao gồm liên kết wafer, ủ, làm cứng,và như một chuck nóng ổn định cho các quy trình như lớp phủ xoắn hoặc kiểm tra đòi hỏi nhiệt được kiểm soát.
2. Tại sao tính phẳng của mảng lại rất quan trọng ở nhiệt độ cao?
   Duy trì tính phẳng ngăn chặn việc uốn cong wafer hoặc tiếp xúc giao diện kém trong quá trình gắn kết hoặc lắng đọng, có thể dẫn đến khiếm khuyết, lỗ hổng và thất bại thiết bị.Máy sưởi của chúng tôi được thiết kế đặc biệt để giảm thiểu biến dạng nhiệt.
3. Liệu hệ thống có thể được tích hợp vào buồng chân không hoặc công cụ hiện có của chúng tôi?
   Vâng, máy sưởi Wafer được thiết kế như một hệ thống con mô-đun.Chúng tôi cung cấp chi tiết cơ khí và điện giao diện và có thể làm việc với bạn để đảm bảo tích hợp liền mạch vào tùy chỉnh của bạn hoặc OEM khoang quy trình.
4. Làm thế nào để chọn đúng vật liệu?
   Sự lựa chọn phụ thuộc vào nhiệt độ quá trình của bạn, độ phẳng cần thiết và khả năng tương thích.trong khi nhôm cung cấp dẫn nhiệt tuyệt vời cho sưởi ấm nhanh.
5. Hệ thống điều khiển nào được sử dụng?
   Hệ thống thường được tích hợp với nền tảng kiểm soát nhiệt độ TNEX chính xác cao của chúng tôi, cung cấp các công thức đa phân đoạn có thể lập trình, giám sát thời gian thực,và ghi lại dữ liệu để có thể truy xuất lại toàn bộ quy trình.