Высокотемпературная зондовая станция 600°C ±0.1°C Стабильность Вакуумная камера Триаксиальный BNC Ручной микрометрический позиционер зонда

Станция зондирования GoGo ECH600V-HT для высоких температур специально разработана для электрической характеристики полупроводников с широкой запрещенной зоной, силовых электронных устройств и передовых материалов при повышенных температурах до 600°C. Работая в герметичной вакуумной камере, эта станция зондирования устраняет артефакты окисления и тепловой конвекции, которые мешают измерениям при высоких температурах на открытом воздухе, обеспечивая истинное определение внутренних свойств устройств на основе SiC, GaN, Ga2O3 и алмаза в реалистичных условиях эксплуатации.

В основе ECH600V-HT лежит прецизионная система позиционирования зондов, оснащенная четырьмя коаксиальными зондами из карбида вольфрама с золотым покрытием и ручной микрометрической регулировкой по осям XYZ с ходом ±6 мм. Тактильная обратная связь от ручного микрометрического управления дает исследователям интуитивное представление о качестве контакта зонда, что необходимо для установления надежных электрических соединений с элементами устройства микронного масштаба без риска повреждения от перерегулирования, которое могут вызвать моторизованные системы. Каждый зонд подключается через выделенный триаксиальный порт BNC, обеспечивая экранированные пути сигнала, которые минимизируют токи утечки и электромагнитные помехи для точных измерений малых токов даже при повышенных температурах.

Интегрированный пакет программного обеспечения TNEX обеспечивает полное цифровое управление температурными профилями, позволяя автоматизировать развертки I-V, измерения C-V и последовательности импульсной характеристики, синхронизированные с точным контролем температуры. Стабильность ±0,1°C гарантирует, что температурно-зависимые электрические параметры, такие как сдвиг порогового напряжения, дрейф сопротивления во включенном состоянии и эволюция тока утечки, будут зафиксированы с точностью, необходимой для получения данных, пригодных для публикации, и надежных отчетов о квалификации устройств.

• Возможность работы при высоких температурах до 600°C: Расширенный температурный диапазон позволяет характеризовать полупроводники с широкой запрещенной зоной (SiC, GaN, Ga2O3) и высокотемпературную электронику в реалистичных условиях эксплуатации в защищенной вакуумной среде.
• Ручное позиционирование зондов микрометром: Четыре коаксиальных зонда из карбида вольфрама с золотым покрытием и микрометрической регулировкой XYZ ±6 мм обеспечивают тактильное, недрейфующее позиционирование со стабильностью, необходимой для чувствительных измерений при высоких температурах.
• Низкошумящий интерфейс Triaxial BNC: Выделенные триаксиальные порты BNC на каждом канале зонда обеспечивают экранированные пути сигнала с низким уровнем утечки, необходимые для точных измерений тока до субпикоампер и характеристики устройств с высоким импедансом.
• Защита вакуумной камеры: Герметичная вакуумная среда предотвращает окисление образца при повышенных температурах и устраняет шум тепловой конвекции, позволяя определять внутренние свойства материала.
• Точность стабильности ±0,1°C: Усовершенствованное многозонное ПИД-регулирование температуры поддерживает точность заданного значения в полном температурном диапазоне, что критически важно для воспроизводимого извлечения температурно-зависимых параметров.
• Автоматизированное секвенирование тестов TNEX: Интегрированная программная платформа синхронизирует температурные рампы с электрическими измерениями, позволяя автоматизировать протоколы I-V-T, C-V-T и импульсной характеристики для комплексного анализа устройств.

Станция зондирования ECH600V-HT отвечает специализированным требованиям исследовательских групп и промышленных лабораторий, разрабатывающих силовую электронику нового поколения и высокотемпературные полупроводниковые устройства. Исследователи полупроводников с широкой запрещенной зоной используют ее для температурно-зависимой I-V характеристики MOSFET на основе SiC, HEMT на основе GaN и диодов Шоттки на основе Ga2O3, отображая критические параметры, такие как стабильность порогового напряжения, удельное сопротивление во включенном состоянии и напряжение пробоя, в зависимости от температуры перехода. Разработчики силовых модулей полагаются на вакуумную среду для без окислительного тестирования надежности при высоких температурах спеченных серебряных интерфейсов крепления кристалла и исследований деградации проводных соединений. Индустрия автомобильной электроники использует станцию для ускоренных испытаний на срок службы силовых устройств, предназначенных для тяговых инверторов электромобилей, где температуры перехода обычно превышают 175°C. Подрядчики аэрокосмической и оборонной промышленности используют возможности работы при высоких температурах для квалификации радиационно-стойкой электроники и компонентов внутрискважинного оборудования. Независимо от того, используется ли ECH600V-HT в университетском исследовательском центре полупроводников с широкой запрещенной зоной, в промышленной лаборатории квалификации силовых устройств или в национальном исследовательском институте, она обеспечивает тепловые характеристики, целостность измерений и эксплуатационную надежность, необходимые для передовой характеристики высокотемпературных устройств.

Каждая станция зондирования ECH600V-HT производится и калибруется в соответствии с сертифицированными системами менеджмента качества ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 и ISO 45001:2018. Заводские приемочные испытания включают полную тепловую калибровку с проверкой по 15 точкам, измерение сопротивления контакта зонда, проверку триаксиального тока утечки до субпикоамперных уровней и сертификацию скорости утечки вакуумной камеры. Полная система поставляется в специальном транспортном кейсе из алюминиевого сплава с индивидуальными формованными пенопластовыми отсеками, вакуумной герметичной упаковкой с влагозащитным барьером и экспортным деревянным ящиком со встроенными индикаторами удара и влажности. Стандартная поставка включает в себя сборку станции зондирования ECH600V-HT, прецизионный контроллер температуры, рециркуляционный чиллер, лицензию на программное обеспечение TNEX, четыре коаксиальных зонда из карбида вольфрама с золотым покрытием, комплект триаксиальных кабелей BNC, комплект для подключения вакуумного насоса и все необходимые соединительные кабели. Дополнительные аксессуары включают дополнительные позиционеры зондов, индивидуальные геометрии наконечников зондов для конкретных конфигураций устройств, высокочастотные зондовые рычаги и системы вакуумных насосов увеличенной мощности. Стандартная гарантия составляет 12 месяцев с возможностью продления сервисных планов.