แท่นวัดอุณหภูมิสูง 600°C ±0.1°C ความเสถียร ห้องสุญญากาศ ทริแอกเชียล BNC คู่มือการจัดตำแหน่งหัววัดแบบไมโครมิเตอร์

สถานีโพรบอุณหภูมิสูง GoGo ECH600V-HT ถูกสร้างขึ้นเพื่อการวัดคุณสมบัติทางไฟฟ้าของสารกึ่งตัวนำแบบแถบพลังงานกว้าง (wide-bandgap semiconductors) อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูง และวัสดุขั้นสูงที่อุณหภูมิสูงถึง 600°C สถานีโพรบนี้ทำงานภายในห้องสุญญากาศที่ปิดสนิท ช่วยขจัดปัญหาการเกิดออกซิเดชันและการพาความร้อนที่ส่งผลต่อการวัดอุณหภูมิสูงในอากาศแบบเปิด ทำให้สามารถกำหนดคุณสมบัติที่แท้จริงของอุปกรณ์ที่ใช้ SiC, GaN, Ga2O3 และเพชรภายใต้สภาวะการทำงานจริง

หัวใจหลักของ ECH600V-HT คือระบบกำหนดตำแหน่งโพรบที่ออกแบบมาอย่างแม่นยำ ประกอบด้วยโพรบโคแอกเชียลทังสเตนคาร์ไบด์ชุบทองสี่ตัว พร้อมการปรับ XYZ แบบไมโครมิเตอร์ด้วยมือ ให้ระยะการเคลื่อนที่ ±6 มม. การตอบสนองแบบสัมผัสของการควบคุมด้วยไมโครมิเตอร์ด้วยมือช่วยให้นักวิจัยรับรู้คุณภาพการสัมผัสของโพรบได้อย่างเป็นธรรมชาติ ซึ่งจำเป็นสำหรับการสร้างการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าที่เชื่อถือได้กับคุณสมบัติของอุปกรณ์ขนาดไมครอน โดยไม่มีความเสี่ยงต่อความเสียหายจากการเคลื่อนที่เกินที่ระบบมอเตอร์อาจก่อให้เกิด โพรบแต่ละตัวเชื่อมต่อผ่านพอร์ต BNC แบบไตรแอกเชียลเฉพาะ ให้เส้นทางสัญญาณที่มีการป้องกัน (guarded signal paths) ซึ่งช่วยลดกระแสรั่วไหลและการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า เพื่อการวัดกระแสต่ำที่แม่นยำ แม้ที่อุณหภูมิสูง

ชุดซอฟต์แวร์ TNEX ที่รวมอยู่ด้วย ให้การควบคุมโปรไฟล์อุณหภูมิแบบดิจิทัลอย่างสมบูรณ์ ช่วยให้สามารถสแกน I-V อัตโนมัติ การวัด C-V และลำดับการวัดแบบพัลส์ที่ซิงโครไนซ์กับการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ ความเสถียร ±0.1°C ช่วยให้มั่นใจได้ว่าพารามิเตอร์ทางไฟฟ้าที่ขึ้นกับอุณหภูมิ เช่น การเปลี่ยนแปลงแรงดันเกณฑ์ (threshold voltage shift) การลอยของความต้านทานขณะเปิดเครื่อง (on-resistance drift) และการเปลี่ยนแปลงของกระแสรั่วไหล จะถูกบันทึกด้วยความแม่นยำที่จำเป็นสำหรับข้อมูลคุณภาพระดับตีพิมพ์และรายงานการรับรองอุปกรณ์ที่เชื่อถือได้

• ความสามารถอุณหภูมิสูง 600°C: ช่วงอุณหภูมิที่ขยายออกช่วยให้สามารถวัดคุณสมบัติของสารกึ่งตัวนำแบบแถบพลังงานกว้าง (SiC, GaN, Ga2O3) และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อุณหภูมิสูงภายใต้สภาวะการทำงานจริงภายในสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ได้รับการป้องกัน
• การกำหนดตำแหน่งโพรบด้วยไมโครมิเตอร์ด้วยมือ: โพรบโคแอกเชียลทังสเตนคาร์ไบด์ชุบทองสี่ตัว พร้อมการปรับไมโครมิเตอร์ XYZ ±6 มม. ให้การกำหนดตำแหน่งที่สัมผัสได้ ไม่มีการลอย และมีความเสถียรที่การวัดอุณหภูมิสูงที่ละเอียดอ่อนต้องการ
• อินเทอร์เฟซสัญญาณรบกวนต่ำ BNC แบบไตรแอกเชียล: พอร์ต BNC แบบไตรแอกเชียลเฉพาะในแต่ละช่องโพรบ ให้เส้นทางสัญญาณที่มีการป้องกันและมีกระแสรั่วไหลต่ำ ซึ่งจำเป็นสำหรับการวัดกระแสต่ำกว่าพิโกแอมแปร์ที่แม่นยำและการวัดคุณสมบัติอุปกรณ์ที่มีอิมพีแดนซ์สูง
• การป้องกันห้องสุญญากาศ: สภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ปิดสนิท ป้องกันการเกิดออกซิเดชันของตัวอย่างที่อุณหภูมิสูง และขจัดสัญญาณรบกวนจากการพาความร้อน ทำให้สามารถกำหนดคุณสมบัติวัสดุที่แท้จริงได้
• ±0.1°C ความเสถียรที่แม่นยำ: การควบคุมอุณหภูมิ PID แบบหลายโซนขั้นสูง รักษาความแม่นยำของจุดตั้งค่าตลอดช่วงอุณหภูมิเต็มรูปแบบ ซึ่งมีความสำคัญต่อการสกัดพารามิเตอร์ที่ขึ้นกับอุณหภูมิได้อย่างทำซ้ำได้
• การจัดลำดับการทดสอบอัตโนมัติ TNEX: แพลตฟอร์มซอฟต์แวร์แบบรวม ซิงโครไนซ์การเพิ่มอุณหภูมิกับการวัดทางไฟฟ้า ช่วยให้สามารถทำโปรโตคอลการวัด I-V-T, C-V-T และการวัดแบบพัลส์อัตโนมัติสำหรับการวิเคราะห์อุปกรณ์ที่ครอบคลุม

สถานีโพรบ ECH600V-HT ตอบสนองความต้องการเฉพาะของกลุ่มวิจัยและห้องปฏิบัติการอุตสาหกรรมที่พัฒนาอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังรุ่นต่อไปและอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำอุณหภูมิสูง นักวิจัยสารกึ่งตัวนำแบบแถบพลังงานกว้างใช้เพื่อวัดคุณสมบัติ I-V ที่ขึ้นกับอุณหภูมิของ MOSFETs SiC, HEMTs GaN และไดโอด Schottky Ga2O3 โดยทำแผนที่พารามิเตอร์ที่สำคัญ เช่น ความเสถียรของแรงดันเกณฑ์ ความต้านทานขณะเปิดเครื่องที่จำเพาะ และแรงดันพังทลาย ตามฟังก์ชันของอุณหภูมิรอยต่อ ผู้พัฒนาโมดูลกำลังอาศัยสภาพแวดล้อมสุญญากาศสำหรับการทดสอบความน่าเชื่อถือที่อุณหภูมิสูงโดยไม่มีการเกิดออกซิเดชันของอินเทอร์เฟซการยึดชิปด้วยเงินที่ผ่านการเผาผนึก และการศึกษาการเสื่อมสภาพของพันธสายไฟ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ยานยนต์ใช้สถานีนี้สำหรับการทดสอบอายุการใช้งานแบบเร่งด่วนของอุปกรณ์กำลังที่ใช้ในอินเวอร์เตอร์ขับเคลื่อนรถยนต์ไฟฟ้า ซึ่งอุณหภูมิรอยต่อมักจะเกิน 175°C ผู้รับเหมาด้านการบินและอวกาศและการป้องกันประเทศใช้ความสามารถอุณหภูมิสูงเพื่อรับรองอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ทนต่อรังสีและส่วนประกอบเครื่องมือวัดใต้ดิน ไม่ว่าจะติดตั้งในศูนย์วิจัยสารกึ่งตัวนำแบบแถบพลังงานกว้างของมหาวิทยาลัย ห้องปฏิบัติการรับรองอุปกรณ์กำลังอุตสาหกรรม หรือสถาบันวิจัยแห่งชาติ ECH600V-HT ให้ประสิทธิภาพด้านความร้อน ความสมบูรณ์ของการวัด และความน่าเชื่อถือในการดำเนินงานที่จำเป็นสำหรับการวัดคุณสมบัติอุปกรณ์อุณหภูมิสูงขั้นสูง

สถานีโพรบ ECH600V-HT ทุกเครื่องผลิตและสอบเทียบภายใต้ระบบการจัดการคุณภาพที่ได้รับการรับรอง ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 และ ISO 45001:2018 การทดสอบการยอมรับจากโรงงานรวมถึงการสอบเทียบอุณหภูมิเต็มช่วงพร้อมการตรวจสอบ 15 จุด การวัดความต้านทานการสัมผัสของโพรบ การตรวจสอบกระแสรั่วไหลแบบไตรแอกเชียลถึงระดับต่ำกว่าพิโกแอมแปร์ และการรับรองอัตราการรั่วไหลของห้องสุญญากาศ ระบบทั้งหมดจัดส่งในกล่องอลูมิเนียมอัลลอยด์สำหรับขนส่งโดยเฉพาะ พร้อมช่องบุโฟมที่ขึ้นรูปตามแบบ การบรรจุภัณฑ์แบบซีลสุญญากาศป้องกันความชื้น และลังไม้เกรดส่งออกพร้อมตัวบ่งชี้แรงกระแทกและความชื้นในตัว การจัดส่งมาตรฐานรวมถึงชุดประกอบสถานีโพรบ ECH600V-HT ตัวควบคุมอุณหภูมิความแม่นยำ เครื่องทำความเย็นแบบหมุนเวียน ใบอนุญาตซอฟต์แวร์ TNEX โพรบโคแอกเชียลทังสเตนคาร์ไบด์ชุบทองสี่ตัว ชุดสายเคเบิล BNC แบบไตรแอกเชียล ชุดเชื่อมต่อปั๊มสุญญากาศ และสายเคเบิลเชื่อมต่อที่จำเป็นทั้งหมด อุปกรณ์เสริมที่เป็นทางเลือก ได้แก่ ตัวกำหนดตำแหน่งโพรบเพิ่มเติม รูปทรงปลายโพรบที่ปรับแต่งได้สำหรับรูปแบบอุปกรณ์เฉพาะ แขนโพรบความถี่สูง และระบบปั๊มสุญญากาศความจุสูง การรับประกันมาตรฐานคือ 12 เดือน พร้อมแผนบริการขยายเวลาที่เป็นทางเลือก