미세 현상 탐구 및 반도체 장치의 정밀 측정에 있어 유연한 작동이 가능한 안정적이고 신뢰할 수 있는 프로브 스테이션은 필수적인 정밀 기기입니다. AKAM Technology에서 개발한 수동 프로브 스테이션 시리즈는 고정밀 작업에서 연구원 및 엔지니어의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었으며, 탁월한 성능과 사용자 친화적인 디자인을 제공하여 필수적인 실험실 도구 역할을 합니다.

핵심 장점: 안정성, 정밀도 및 사용 편의성

AKAM Technology의 수동 프로브 스테이션은 설계 시 안정성과 작동 편의성을 최우선으로 합니다. 핵심 수동 플랫폼 구성 요소는 기본 샘플 지원을 제공할 뿐만 아니라 웨이퍼 또는 샘플의 로딩 및 언로딩 프로세스를 크게 단순화하는 사전 로드 레일 옵션을 제공합니다. 이 디자인은 특히 빈번한 샘플 교체 또는 배치 테스트가 필요한 시나리오에서 작동 효율성을 향상시킵니다.

스테이션은 플래튼과 척의 Z축 위치에 대한 조악 및 미세 조정 기능을 모두 갖추고 있어 마이크로미터 수준의 수직 위치 지정 정확도를 보장하여 정밀 접촉 작업을 위한 견고한 기반을 구축합니다.

견고한 구조 및 유연한 구성

프로브 스테이션의 구조적 무결성은 측정 정확도에 직접적인 영향을 미칩니다. AKAM Technology의 수동 프로브 스테이션은 최대 10개의 자기 또는 진공 기반 포지셔너를 안정적으로 수용할 수 있는 견고한 주강 플래튼을 통합합니다. 이 디자인은 장기적인 안정성을 보장하는 동시에 다양한 테스트 구성을 수용할 수 있는 프로브 배열을 위한 충분한 공간을 제공합니다.

저누설 전류 테스트가 필요한 애플리케이션의 경우 스테이션은 동축 및 삼축 척 옵션과 함께 외부 전자기 간섭 및 환경 요인을 효과적으로 격리하여 신뢰할 수 있는 테스트 데이터를 보장하는 차폐 인클로저 옵션을 제공합니다.

정밀 현미경 관찰 및 위치 지정

미세 규모에서는 정밀한 관찰이 중요합니다. AKAM Technology의 수동 프로브 스테이션은 표준 붐 장착 현미경 어셈블리를 특징으로 하며, 이는 전체 범위 XYZ 위치 지정을 허용하여 사용자가 최적의 관찰을 위해 시야각을 쉽게 조정할 수 있도록 합니다. 스테이션은 80 TPI(인치당 나사산) 리드 스크류를 갖춘 고해상도 현미경 포지셔너를 통합하여 마이크로미터 수준의 프로브 위치 지정 정확도를 달성하여 미세 장치 특징과의 정밀한 접촉을 가능하게 합니다.

특수 RF 테스트 기능

RF 장치 테스트에 대한 증가하는 요구에 부응하여 AKAM Technology는 수동 프로브 스테이션을 위한 포괄적인 RF 솔루션을 제공합니다. 여기에는 다양한 주파수 및 임피던스 요구 사항을 위한 맞춤형 RF 프로브, 우수한 신호 무결성을 위한 특수 RF 척, 신호 간섭 및 손실을 최소화하기 위한 전용 차폐 인클로저가 포함됩니다. 이러한 RF 옵션을 통해 스테이션은 기초 연구부터 고급 RF 장치 생산 테스트에 이르기까지 다양한 애플리케이션을 처리할 수 있습니다.

포괄적인 모델 선택

AKAM Technology는 다양한 애플리케이션을 수용하기 위해 여러 수동 프로브 스테이션 모델을 제공합니다.

• DS – AMC100 수동 프로브 스테이션: 기본 웨이퍼 테스트 및 장치 분석용
• DS – APS150 분석 프로브 스테이션: 고정밀 분석 애플리케이션용으로 설계됨
• DS – SPS-4-6 수동 프로브 스테이션: 다양한 샘플 크기에 적합
• DS – AMC200 수동 프로브 스테이션: 더 큰 샘플 용량 및 더 높은 정밀도 제공
• DS – APS200 분석 프로브 스테이션: 향상된 분석 기능
• DS-EPS-4 수동 프로브 스테이션: 추가 구성 옵션 제공

구조 설계, 작동 정밀도, 구성 유연성 및 특수 애플리케이션 지원의 포괄적인 장점을 갖춘 AKAM Technology의 수동 프로브 스테이션 시리즈는 반도체, 마이크로 전자 공학 및 재료 과학 연구 및 생산에서 필수적인 정밀 측정 도구가 되었습니다.