温度が上昇するにつれて、電子顕微鏡の顕微鏡的な視線の下で材料がどのように内部のダイナミクスを明らかにするのか疑問に思ったことはありますか?相転移から粒子成長、酸化反応に至るまで、これらの動的プロセスをリアルタイムで観察することは、材料特性を理解するために非常に重要です。 TESCAN の Murano™ 加熱ステージは、このビジョンを現実に変え、冶金および材料科学の研究に新たな次元を切り開きます。

走査型電子顕微鏡 (SEM) 内で加熱中のサンプルの変化を直接観察することは、材料の固有のメカニズムを明らかにする鍵となります。 Murano™ 加熱ステージは、加熱中の相転移、再結晶化、粒子成長、酸化プロセスを動的に表示することでこれを可能にし、研究者が材料のライフサイクルを「見る」ことができるようにします。独自の断熱インターフェース設計により、ほとんどの標準的な SEM サンプル ステージとの統合が容易で、SEM イメージング、後方散乱電子回折 (EBSD)、および多次元研究用の集束イオン ビーム (FIB) 処理と完全に互換性があります。

Murano™ 加熱ステージは周囲温度から 950°C までの温度をカバーし、材料研究の多様なニーズを満たします。触媒作用、還元、酸化の研究におけるアプリケーションを強化するために、オプションのガス注入システムを提供します。正確なガス制御は、サンプル近くのキャピラリーを通じて実現され、フランジに取り付けられたニードルバルブによって外部流量を調整できます。 SEM の安全性を確保するために、ステージには効率的な水冷ベースと保護シールドが装備されており、チャンバーと検出器を高温から保護します。各システムには、安全フロースイッチ、電源、PC ベースの温度コントローラーインターロックを備えた低振動水チラーが含まれており、安定した安全な動作を実現します。

高温 SEM 分析中は、熱電子が二次電子の収集を妨げ、画像品質に影響を与えることがよくあります。 Murano™ 加熱ステージは、インターフェイス フランジにバイアス制御を統合して、二次電子抽出を強化しながら熱電子を抑制し、微妙な構造変化を捉えるために重要な高温でも鮮明で高品質の画像を提供します。

ステージの加熱プラットフォームは消耗品設計を採用しており、簡単に交換できるため、実験効率が大幅に向上します。そのログ ソフトウェアは、その後の分析のためにタイムスタンプと温度データを正確に関連付けます。 DigiScan™ デジタル ビーム制御およびイメージング システムと組み合わせると、その場ビデオ ソフトウェアを通じて記録された画像やビデオに温度データを直接オーバーレイでき、前例のない熱プロセスの視覚化が可能になります。

• 強力なその場加熱:ミリメートルサイズのサンプルの急速加熱/冷却 (>100°C/分) により、材料の効率的な特性評価が可能になります。
• コンパクトなデザイン:サンプルのローディングを容易にしながら、EBSD 分析のための大きな傾斜角を維持します。
• オプションのガス注入:局所的な高温ガス反応の研究をサポートします。
• PC温度制御：<0.5°C の精度と <1°C/時間の安定性を実現し、再現可能な結果を​​実現します。
• 水冷:950°C のサンプル温度をサポートしながら SEM チャンバーを保護します。

• 相転移と共晶温度の特定
• 粒子成長の特性評価
• 変形組織の再結晶化研究
• ガス反応速度論の研究
• 高温半導体故障解析

Murano™ 加熱ステージを使用すると、1 回の SEM 実験内で初期温度から最高温度までサンプルを連続観察できるため、複数のサンプル前処理の必要性がなくなり、関心領域の一貫した研究が保証されます。これは、材料科学探査にとって革新的な進歩です。