빠르게 발전하는 반도체 산업에서 성능 검증과 고장 분석은 미세한 미세 수술과 비슷합니다. 비교할 수 없는 측정 정확성을 달성하는 것이 무엇보다 중요합니다.기업들은 최첨단 탐사선과 테스트 솔루션에 의존하여 칩 행동의 가장 작은 세부 사항을 조사합니다., 이 고위험 분야에서 경쟁 우위를 점합니다.

반도체 테스트 환경은 전문적인 접근을 요구합니다. 고주파 RF 응용 프로그램에서 고전력 장치, 낮은 전류 분석에서 극한 온도 성능 평가까지정밀 장비는 다양한 시나리오에서 독특한 과제에 적응해야합니다..

칩 수준의 테스트의 핵심 플랫폼으로서 탐사 스테이션은 안정성, 정확성 및 유연성을 제공하여 신뢰할 수있는 결과를 보장해야합니다.이 범주의 첨단 설계는 정확한 측정에 대한 통제 된 환경을 제공합니다..

• 수동 탐사역:유연성과 직관적인 작동을 요구하는 애플리케이션을 위해 설계된 이 시스템은 기본 DC/CV/IV 분석과 복잡한 고장 조사에서 우수합니다.높은 안정성을 가진 모델, 특히 정확한 CV/IV를 위해 설계된 모델, DC 및 고전력 측정은 필수적인 실험실 도구로 사용됩니다.
• 반자동 탐사역:수동 유연성과 자동화 기능을 결합하여 이러한 시스템은 테스트 효율성과 반복성을 크게 향상시킵니다. 일부 모델은 200mm 및 300mm 웨이퍼 테스트를 수용합니다.연구 및 대용량 생산 환경에서 RF/DC/CV 및 고전력 측정에 대한 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다..
• RF 및 밀리미터 파동 탐사 스테이션:고주파 통신 및 레이더 애플리케이션에 대한 증가하는 수요를 해결하기 위해,특화된 스테이션은 높은 대역폭의 정확한 측정을 위해 저손실 설계와 정확한 탐사선 정렬로 신호 무결성을 유지합니다..
• 고전력 탐사 기지:고전압 및 전류 조건에 견딜 수 있도록 설계된 이 시스템은 안전과 데이터 정확성을 보장합니다.탄탄한 구조와 특수 탐사 장착 장치.

테스트 장비와 칩 사이의 다리로서, 탐사 품질은 신호 전송과 측정 정확성에 직접 영향을 미칩니다.탐사 끝과 팔의 포괄적인 선택은 다양한 테스트 요구 사항을 수용:

• DC/CV/IV 테스트를 위한 표준 프로브
• 고주파 RF/마이크로파용 동축 및 켈빈 프로브
• 고전압/고전력 시나리오에 특화된 탐사 팔

탐사 카드 어댑터를 포함한 보조 액세서리는 탐사기와 스테이션 사이의 최적의 호환성을 보장합니다.

이 중요한 구성 요소들은 칩 테스트 포인트와 정확하게 접촉할 수 있는 탐사기의 능력을 결정한다.

• 미세 조정에 필요한 수동 고정도 모델
• 자동 탐사 위치 확인을 위한 컴퓨터 지원 버전
• 신호의 무결성을 유지하는 RF/마이크로파 특수한 설계

정밀 온도 제어 시스템은 열 극한에서도 성능을 평가 할 수 있습니다.전체적인 열 특성화 및 신뢰성 테스트를 위해 실제 작동 환경을 복제하는 것.

전문 시스템은 수동 측정과 소프트웨어 지원 측정을 지원하는 4점 탐사 기술을 사용하여 재료 저항성을 정확하게 측정합니다.온도 저항성 계수 (TCR) 분석을 포함하여.

고해상도 영상 시스템은 칩 표면의 명확한 시각화를 제공하여 정밀한 탐사선 정렬 및 결함 현지화를 촉진합니다.옵션은 고전력 줌 비디오 현미경에서 고급 조명과 함께 스테레오스코피 저 확대 시스템까지 다양합니다..

추가 구성 요소는 웨이퍼 고정을위한 진공 시스템, 측정 안정성을위한 진동 격리 플랫폼을 포함하여 원활한 테스트 작업을 보장합니다.각기 다른 기하학적 장치에 특화된 턱.

이러한 정밀 시스템은 반도체 개발과 제조 전반에 걸쳐 중요한 기능을 수행합니다.

• 장치 검증을 위한 DC 특성화 및 CV/IV 분석
• DC에서 THz까지의 RF/마이크로파 성능 평가
• 극심한 전기 조건에서 고전력 장치 특성화
• 연구 및 개발을 위한 재료 저항성 측정
• 온도 범위의 열성능 평가

수십 년의 기술 전문 지식을 바탕으로 이러한 시스템의 공급자는 측정 능력을 계속 발전시키고 있으며,신뢰성 있는 테스트 솔루션.