최첨단 과학 탐사와 기술적인 돌파구를 추구하는 데 있어서 진공 환경에서 정확한 운동 제어가 중요한 역할을 합니다.반도체 제조에서 고에너지 물리 연구 및 우주 과학 탐사, 심지어 가장 작은 진동 또는 위치 오차는 실험 실패 또는 제품 결함을 초래할 수 있습니다.진공의 까다로운 조건에서 정확한 선형 운동은 장비 성능에 중대한 과제를 제기합니다..

진공 환경은 정밀 운동 시스템의 설계, 제조 및 재료 선택에 매우 높은 요구 사항을 부과합니다.일반 재료는 진공에서 휘발성 물질을 방출할 수 있습니다.실험실의 오염을 초래하고그리고 물질의 열팽창은 진공에서 표준 대기 조건에 비해 근본적으로 다르게 행동합니다..

진공 호환성 선형 스테이지는 엄격한 설계 고려를 통해 이러한 과제를 해결합니다. 이 시스템은 엄격한 제조, 처리,10-6 hPa까지 도달하는 초고 진공 조건에서도 예외적인 운동 성능을 유지하는 것을 보장하기 위해 테스트 프로세스 (7.5×10−7 Torr) 이 능력은 나노미터 규모 조정에서 마이크로미터 수준 변환까지의 정밀 위치 설정을 가능하게 하며, 가장 까다로운 진공 운동 요구 사항을 충족시킵니다.

시장은 초고 정밀 나노 포지셔너에서 일반용 마이크로미터 수준의 변환 단계에 이르기까지 진공 호환 선형 단계의 광범위한 선택을 제공합니다.다양한 응용 시나리오를 수용하도록 설계되었습니다..

확장 된 이동 범위와 높은 부하 용량을 필요로하는 애플리케이션을 위해 설계 된이 단계는 진공 환경에서 예외적인 운동 안정성과 반복성을 보여줍니다.

• 주요 사양:이동 범위는 100mm에서 300mm까지, 최소 증가 운동은 0.4μm, 정상 부하 용량은 1000N까지, 최대 속도는 20mm/s에 달한다.
• 응용 프로그램:큰 광학 실험 설정, 진공 퇴적 시스템에서 작업 조각 위치 및 긴 이동을 필요로 하는 내부 진공 챔버 구성 요소의 정확한 정렬.

이 시스템은 높은 정밀도의 움직임을 제공하면서 좋은 부하 용량과 비교적 컴팩트한 디자인을 유지하며 수많은 진공 애플리케이션에 대한 다기능 솔루션으로 사용됩니다.

• 주요 사양:이동 범위는 50mm에서 150mm까지, 최소한의 증가 운동은 0.3μm까지, 정상 부하 용량은 100N이며 최대 속도는 20mm/s에서 40mm/s입니다.
• 응용 프로그램:진공 자외선 (VUV) 및 극한 자외선 (EUV) 광 시스템, 스캔 전자 현미경 (SEM) 샘플 스테이지, 진공 스캔 터널링 현미경 (STM) 탐사 위치,그리고 진공에서 정확한 정렬을 필요로 하는 다른 정밀 기기.

이 소형 선형 스테이지는 공간 제한된 진공 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었으며, 작은 발자국에도 불구하고 인상적인 위치 정확성을 제공합니다.

• 주요 사양:25mm 이동 범위, 최소 증가 운동 0.1μm, 정상 부하 용량 50N, 최대 속도 1.25mm/s.
• 응용 프로그램:소형 광학 시스템 조정, 진공에서의 미세 샘플 조작, 그리고 제한된 내부 공간으로 복잡한 진공 기기에 통합된 정밀 위치 모듈.

이 플랫폼은 예외적인 해상도와 빠른 반응으로 유명하며, 극도의 정확성과 동적 성능을 요구하는 진공 애플리케이션에 특히 적합합니다.

• 주요 사양:12mm 및 27mm의 이동 옵션, 0.05μm에 도달하는 최소 인크리멘탈 모션, 3N의 정상적인 부하 용량, 0.5mm/s의 최대 속도.
• 응용 프로그램:레이저 유도 분해 분광 (LIBS) 샘플 스캔, 진공 집중 조정 및 빠른 응답 시간을 요구하는 정밀 측정 시스템.

이 단계들은 나노미터 규모의 포지셔닝 기술의 절정에 해당하며, 진공 환경에서 초고정밀 포지셔닝을 달성하기 위해 피에조 전기 드라이브 메커니즘을 이용합니다.

• 주요 사양:이동 범위는 0.1mm에서 0.4mm까지, 최소 증가 운동은 0.0002μm에서 0.008μm까지 낮으며 모델에 따라 정상 부하 용량은 10N에서 100N 사이입니다.
• 응용 프로그램:고해상도 스캐닝 프로브 현미경 (SPM), 원자 규모 조작, 초정확한 정렬이 필요한 첨단 과학 연구 장비.

자동 제어가 필요하지 않지만 진공에서 정확한 수동 조정이 필요한 응용 프로그램에서는 이러한 단계가 간단한 기계적 솔루션을 제공합니다.

• 주요 사양:12.7mm 및 25.4mm의 이동 옵션, 최소 인크리멘탈 모션 (운전 메커니즘에 따라) 일반적으로 마이크로미터 또는 미세 미크로미터 수준에 도달하고 111N에서 222N의 정상적인 부하 용량.
• 응용 프로그램:초기 광학 부품 정렬, 진공 시스템 설치 및 디버깅, 그리고 중도의 이동 요구 사항과 함께 안정적인 수동 조정이 필요한 실험 설정.

표준 상품을 넘어서 specialized manufacturers provide customization services to modify existing platforms or develop entirely new motion solutions tailored to specific vacuum environment requirements or performance criteria전체적인 기술 문서는 일반적으로 진공 애플리케이션에 대한 적절한 시스템 준비에 대한 지침이 제공됩니다.

진공의 극한 조건에서 정확하고 신뢰할 수 있는 선형 움직임을 달성하는 것은 수많은 국경 과학 연구 계획과 첨단 기술 산업 발전에 매우 중요합니다.광범위한 기술 전문 지식과 진공 환경 과제에 대한 깊은 이해를 통해, 이러한 까다로운 요구 사항을 충족시키기 위해 특수 모션 제어 솔루션이 개발되었습니다.그리고 소형 플랫폼, 오늘날의 진공 호환 모션 시스템은 다양한 애플리케이션 요구를 포괄적으로 해결합니다.연구원과 엔지니어들에게 강력한 도구를 제공하여 기술 장벽을 극복하고 진공 환경에서 과학 및 기술 발전을 촉진합니다..