과학 연구와 정밀 제조의 까다로운 분야에서는 극도의 정확성과 안정성이 가장 중요합니다.공학자들은 진공 환경에서 정확한 모션 컨트롤을 구현할 때 상당한 과제에 직면합니다.. Consider a critical experiment requiring micrometer-level rotation at pressures approaching one-billionth of standard atmospheric pressure - where even minuscule vibrations or errors could compromise the entire procedure이러한 까다로운 요구사항을 해결하기 위해, 에드먼드 광학은 X-RSW60A-SV2T9 전기 회전 스테이지를 소개했습니다.10−6 Torr 진공 호환성으로 새로운 산업 기준을 설정하고 통합 제어에서 우수합니다, 움직임의 정확성, 사용자 경험.

반도체 제조, 광학 코팅, 재료 과학 및 우주 탐사 등 첨단 기술 분야는 종종 진공 환경을 필요로합니다.10−6 Torr에서 기계적 작동은 장비 재료에 특별한 요구 사항을 부과기존 모터와 컨트롤러는 진공 칸막이를 오염시키는 휘발성 화합물을 방출할 수 있습니다.진공의 무결성에 영향을 미치는 열을 생성합니다., 또는 진공 시스템에 해를 끼치는 기계적 마찰을 도입합니다.에드먼드 광학의 60mm 전기 회전 무대는 이러한 과제를 포괄적으로 이해함으로써 설계 된 솔루션을 나타냅니다., 특수 진공 호환성 재료와 디자인을 통합하여 환경 간섭을 최소화하면서 신뢰할 수있는 작동을 보장합니다.

스테이지의 가장 주목할만한 특징은 10−6 Torr 진공 등급으로, 높은 진공 조건에서 극도로 높은 진공 조건까지의 애플리케이션에 적합합니다.두 단계 단계 모터 정밀 기어링을 통해 고 해상도의 움직임을 제공합니다이 시스템은 0.02° 이하의 위치 오류와 0.04° 내의 역반응을 제어하여 놀라운 동작 해상도와 반복성을 달성합니다.이것은 반복적인 작업 또는 정밀 정렬 작업 중에 참조 위치로 일관된 반환을 보장합니다.0.14°의 절대적 정확도는 공간 위치 안정성을 보장합니다.

이 단위는 컨트롤러를 무대 몸체에 직접 접목시켜 콤팩트하면서도 강력한 조립 장치를 만듭니다.이 통합적 접근 방식은 연결 복잡성과 잠재적인 장애점을 줄이는 동시에 귀중한 실험 공간을 절약합니다.운영자는 여러 가지 제어 옵션을 이용할 수 있습니다.

• 수동 조정:통합 된 전력 측정기는 설정 또는 덜 중요한 작업 중에 직관적인 위치 설정을 가능하게합니다.
• RS-232 인터페이스:표준 일련 통신은 자동 제어에 대한 컴퓨터 통합을 촉진합니다.
• USB 연결:실험실 시스템과 장치 통합을 위한 현대적인 연결을 제공합니다.

콤팩트한 크기에도 불구하고 회전 스테이지는 인상적인 20kg (200N) 로드를 지원하며, 60mm 플랫폼은 다양한 샘플, 광학 부품 또는 정밀 기기를 수용합니다.설계는 즉각적인 작동을 위해 사용 가능한 액세서리 키트를 포함하여 실용적인 고려 사항을 포함합니다., 세트업 가이드, 3D 모델링 파일, 사양 및 사용 설명서를 포함하는 포괄적인 기술 문서로 보완하여 구현을 효율화합니다.

• 웨이퍼 취급, 마스크 정렬 및 리토그래피 장비용 반도체 제조
• 유니폼 필름 퇴적을 위해 정확한 기질 회전을 필요로 하는 광학적 코팅 시스템
• 진공 기반 물질 성장, 표본 분석 및 현미경을 포함하는 재료 과학 연구
• 위성 운용량 위치 및 자세 조절을 위한 우주 과학 기구
• 정밀 측정 및 캘리브레이션 장비 통합

이 기술 솔루션은 진공 환경에서 정밀 동작 제어에 중요한 발전을 나타냅니다.성능이 손상될 수 없는 연구 및 산업용 애플리케이션의 까다로운 요구에 부응합니다..